[实用新型]一种降低硅片镀膜色差的卡点

摘要

本实用新型公开了一种降低硅片镀膜色差的卡点，包括卡点本体，卡点本体呈圆柱体，在卡点本体两侧各连接一个圆柱形的限位块，所述限位块轴线与卡点本体轴线重合，限位块远离卡点本体的一端设有环形凸台，环形凸台套设在限位块侧壁外周，环形凸台、限位块与卡点本体间围成一个限位槽，所述环形凸台外径为6.0mm，限位槽宽度为0.3mm。该卡点能够有效提升硅片与石墨舟舟叶的贴合度，进而避免硅片倾斜、掉片的现象，降低硅片镀膜色差。