[实用新型]一种降低硅片镀膜色差的卡点

权利要求书

1.一种降低硅片镀膜色差的卡点，其特征在于，包括卡点本体(1)，卡点本体(1)呈圆柱体，在卡点本体(1)两侧各连接一个圆柱形的限位块(2)，所述限位块(2)轴线与卡点本体(1)轴线重合，限位块(2)远离卡点本体(1)的一端设有环形凸台(3)，环形凸台(3)套设在限位块(2)侧壁外周，环形凸台(3)、限位块(2)与卡点本体(1)间围成一个限位槽(4)，所述环形凸台(3)外径为6.0mm，限位槽(4)宽度为0.3mm。

2.根据权利要求1所述的一种降低硅片镀膜色差的卡点，其特征在于，所述卡点本体(1)厚度为2.43-2.48mm。

3.根据权利要求1所述的一种降低硅片镀膜色差的卡点，其特征在于，所述环形凸台(3)轴线与限位块(2)轴线重合。

4.根据权利要求1所述的一种降低硅片镀膜色差的卡点，其特征在于，所述环形凸台(3)、限位块(2)和卡点本体(1)为一体式结构，且环形凸台(3)外侧面与限位块(2)的外侧端面位于同一平面上。

5.根据权利要求4所述的一种降低硅片镀膜色差的卡点，其特征在于，两个限位块(2)的外侧端面之间的距离为4.81-4.91mm。

6.根据权利要求1所述的一种降低硅片镀膜色差的卡点，其特征在于，所述限位槽(4)为环形槽，环形凸台(3)靠近限位槽(4)的一面为锥形斜面(31)，该锥形斜面(31)与限位槽(4)底面夹角为120°。

7.根据权利要求1所述的一种降低硅片镀膜色差的卡点，其特征在于，所述限位块(2)直径为5±0.05mm，所述卡点本体(1)直径为9±0.05mm。

8.根据权利要求1所述的一种降低硅片镀膜色差的卡点，其特征在于，所述卡点本体(1)上倒有45°的斜角(11)。