[实用新型]一种半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具

摘要

本实用新型公开了一种半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具，其包括：抽气硬管、卸料台、固定座、滑座和真空夹具，所述真空夹具设置在滑座上，所述真空夹具正面间隔设置有数个与晶棒对应的插槽，所述插槽中同心内凹设置有真空室，所述真空夹具背面设置有与真空室相连通的螺纹孔，所述抽气硬管前端安装在螺纹孔中，所述晶棒后端插入插槽中且前端水平延伸至卸料台上方，所述卸料台顶部设置有位于晶棒下方的支撑滚轴，所述卸料台正面设置有位于支撑滚轴前方的斜坡面。本实用新型所述的半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具，提升了切割效率和晶棒在切割时的稳定性，切割下来的片材通过斜坡面进行导流，加强了对片材的保护。