[实用新型]一种半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具

权利要求书

1.一种半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具，用于晶棒的固定和送料，其特征在于，包括：抽气硬管、卸料台、固定座、滑座和真空夹具，所述卸料台设置在固定座的前方，所述滑座滑动设置在固定座上，所述真空夹具设置在滑座上，所述真空夹具正面间隔设置有数个与晶棒对应的插槽，所述插槽中同心内凹设置有真空室，所述真空夹具背面设置有与真空室相连通的螺纹孔，所述抽气硬管前端安装在螺纹孔中，所述晶棒后端插入插槽中且前端水平延伸至卸料台上方，所述卸料台顶部设置有位于晶棒下方的支撑滚轴，所述卸料台正面设置有位于支撑滚轴前方的斜坡面。

2.根据权利要求1所述的半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具，其特征在于，所述固定座上间隔设置有位于滑座下方的两根导轨，所述滑座底部设置有与导轨对应的滑槽。

3.根据权利要求1所述的半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具，其特征在于，所述抽气硬管后端设置有阀门，所述阀门外接抽气软管。

4.根据权利要求1所述的半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具，其特征在于，所述支撑滚轴外圆上包裹有与晶棒接触的尼龙套，所述卸料台顶部内凹设置有与支撑滚轴对应的方槽，所述方槽两端设置有与支撑滚轴端部对应的轴承。

5.根据权利要求1所述的半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具，其特征在于，所述固定座中设置有驱动滑座进行滑动的电动丝杆滑台。

6.根据权利要求1所述的半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具，其特征在于，所述斜坡面上设置有橡胶垫。