[实用新型]一种半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具

说明书

本实用新型公开了一种半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具，其包括：抽气硬管、卸料台、固定座、滑座和真空夹具，所述真空夹具设置在滑座上，所述真空夹具正面间隔设置有数个与晶棒对应的插槽，所述插槽中同心内凹设置有真空室，所述真空夹具背面设置有与真空室相连通的螺纹孔，所述抽气硬管前端安装在螺纹孔中，所述晶棒后端插入插槽中且前端水平延伸至卸料台上方，所述卸料台顶部设置有位于晶棒下方的支撑滚轴，所述卸料台正面设置有位于支撑滚轴前方的斜坡面。本实用新型所述的半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具，提升了切割效率和晶棒在切割时的稳定性，切割下来的片材通过斜坡面进行导流，加强了对片材的保护。

技术领域

本实用新型涉及半导体制冷片晶棒加工技术领域，尤其涉及一种半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具。

背景技术

半导体制冷片是由半导体所组成的冷却装置，利用半导体材料的特性，当直流电通过两种不同半导体材料串联成的电偶时，在电偶的两端分别吸收热量和放出热量，实现制冷的目的。半导体制冷片的体积通常比较小巧，可靠性比较高，可以应用在空间受到限制的场所。

半导体制冷片的生产离不开晶棒，需要先对半导体制冷片晶棒进行切片加工，方可进行半导体制冷片的生产。现有电火花切割设备，只能单根进行晶棒的夹持和切割，效率低下，而且夹持过程中容易造成晶棒外圆的损坏，材料的利用率低，生产的成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具，避免晶棒的损伤，提升切割的效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具，包括：抽气硬管、卸料台、固定座、滑座和真空夹具，所述卸料台设置在固定座的前方，所述滑座滑动设置在固定座上，所述真空夹具设置在滑座上，所述真空夹具正面间隔设置有数个与晶棒对应的插槽，所述插槽中同心内凹设置有真空室，所述真空夹具背面设置有与真空室相连通的螺纹孔，所述抽气硬管前端安装在螺纹孔中，所述晶棒后端插入插槽中且前端水平延伸至卸料台上方，所述卸料台顶部设置有位于晶棒下方的支撑滚轴，所述卸料台正面设置有位于支撑滚轴前方的斜坡面。

其中，所述固定座上间隔设置有位于滑座下方的两根导轨，所述滑座底部设置有与导轨对应的滑槽。

其中，所述抽气硬管后端设置有阀门，所述阀门外接抽气软管。

其中，所述支撑滚轴外圆上包裹有与晶棒接触的尼龙套，所述卸料台顶部内凹设置有与支撑滚轴对应的方槽，所述方槽两端设置有与支撑滚轴端部对应的轴承。

其中，所述固定座中设置有驱动滑座进行滑动的电动丝杆滑台。

其中，所述斜坡面上设置有橡胶垫。

本实用新型的有益效果：一种半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具，通过真空夹具进行多根晶棒的同时吸附固定，提升切割效率，并利用支撑滚轴进行晶棒的支撑，提升晶棒在切割时的稳定性，不会扭动而避免了晶棒的夹持损伤问题，切割下来的片材通过斜坡面进行导流，减少了冲击问题，加强了对片材的保护，成品率高，剩下的料头由于外圆完美，可以通过胶水进行连接延长和二次切割，提升材料的利用性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1中真空夹具的右视图。

具体实施方式

下面结合图1~图2并通过具体实施例来进一步说明本实用新型的技术方案。

一种半导体制冷片晶棒无损电火花切片治具，包括：抽气硬管7、卸料台11、固定座1、滑座2和真空夹具9，所述卸料台11设置在固定座1的前方，且方便固定在电火花切割设备的工作台上。