[实用新型]一种等离子体CVD晶圆加热器用表面修磨装置有效
| 申请号： | 201921655188.8 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN210732123U | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 游利;吴明飞 | 申请（专利权）人： | 靖江先锋半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/27;B24B37/34;B24B37/11;B24B47/12;B24B41/02 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰专利事务所(普通合伙) 32219 | 代理人： | 陆平 |
| 地址： | 214500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子体CVD晶圆加热器用表面修磨装置，特点是从下至上依次设置有安装支架、旋转装置、加热器支撑圆盘、研磨盘，晶圆加热器设置在加热器支撑圆盘和研磨盘之间；研磨盘主体底部设置有研磨块、调节支撑圆柱，研磨盘主体通过调节螺栓与研磨块相连接固定，调节螺栓的上端设置有数显深度测量指示表；安装平板上设置有安装主体，安装主体内部设置有台阶孔，装有旋转电机的固定座下部与台阶孔相配合固定，连接圆盘上端设置有支撑圆盘本体；优点是结构简单，稳定性好，操作方便，研磨快速高效；大大降低了工人的劳动强度，减小了一次修磨量，增加了晶圆加热器的可修磨次数，延长了晶圆加热器的工作寿命，节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 cvd 加热 器用 表面 装置 | ||
【主权项】：
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