[实用新型]一种旋转靶材制备装置有效
| 申请号： | 201921647156.3 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN210711719U | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 胡茂横 | 申请（专利权）人： | 深圳恒泰克科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/50;C23C14/52 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 彭西洋;谢亮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道办事处*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于旋转靶材技术领域，且公开了一种旋转靶材制备装置，包括箱体，所述箱体的底部安装有支撑柱，且箱体的一侧固定有控制器，所述箱体的侧壁安装有密闭箱门，且箱体的一侧靠近控制器的下方通过螺栓固定连接有电机，所述电机的输出轴延伸至箱体内部的一端通过螺纹连接有空心管，所述空心管的外壁安装有靶材管材，所述密闭箱门的内部顶端安装有两个固定板，本实用新型通过液压缸伸缩带动滑套使其在滑杆上滑动，而后滑套带动高压喷头沿着滑杆做往返运动，从而使材料均匀喷涂在靶材管材上，同时通过电机带动空心管转动，然后使空心管带动其外壁的靶材管材转动，从而能够全方面进行喷涂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 制备 装置 | ||
【主权项】：
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