[实用新型]一种旋转靶材制备装置有效
| 申请号： | 201921647156.3 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN210711719U | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 胡茂横 | 申请（专利权）人： | 深圳恒泰克科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/50;C23C14/52 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 彭西洋;谢亮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道办事处*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 制备 装置 | ||
1.一种旋转靶材制备装置，其特征在于：包括箱体，所述箱体的底部安装有支撑柱，且箱体的一侧固定有控制器，所述箱体的侧壁安装有密闭箱门，且箱体的一侧靠近控制器的下方通过螺栓固定连接有电机，所述电机的输出轴延伸至箱体内部的一端通过螺纹连接有空心管，所述空心管的外壁安装有靶材管材，所述密闭箱门的内部顶端安装有两个固定板，两个所述固定板之间固定有滑杆，所述滑杆的外壁套设有滑套，所述滑套的一侧安装有高压喷头，其中一个所述固定板的侧壁靠近滑杆的一侧固定有液压缸，所述液压缸远离固定板的一端通过液压杆与滑套相连接，所述电机与控制器电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材制备装置，其特征在于：所述空心管的两端均贯穿有连接杆，所述连接杆延伸至空心管内部的一端安装有拉环，且连接杆延伸至空心管外部的一端固定有限位板，所述连接杆的外壁且位于空心管与靶材管材之间套设有弹簧，所述空心管与靶材管材之间靠近弹簧的一侧安装有伸缩筒。
3.根据权利要求1所述的一种旋转靶材制备装置，其特征在于：所述密闭箱门的侧壁安装有观察窗和把手，且观察窗位于把手的一侧。
4.根据权利要求1所述的一种旋转靶材制备装置，其特征在于：所述电机的外壁安装有保护罩，所述保护罩的外壁开设有散热孔。
5.根据权利要求1所述的一种旋转靶材制备装置，其特征在于：所述支撑柱的底部安装有滑轮，所述滑轮的外壁开设有防滑槽。
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