[实用新型]一种旋转靶材制备装置

说明书

本实用新型属于旋转靶材技术领域，且公开了一种旋转靶材制备装置，包括箱体，所述箱体的底部安装有支撑柱，且箱体的一侧固定有控制器，所述箱体的侧壁安装有密闭箱门，且箱体的一侧靠近控制器的下方通过螺栓固定连接有电机，所述电机的输出轴延伸至箱体内部的一端通过螺纹连接有空心管，所述空心管的外壁安装有靶材管材，所述密闭箱门的内部顶端安装有两个固定板，本实用新型通过液压缸伸缩带动滑套使其在滑杆上滑动，而后滑套带动高压喷头沿着滑杆做往返运动，从而使材料均匀喷涂在靶材管材上，同时通过电机带动空心管转动，然后使空心管带动其外壁的靶材管材转动，从而能够全方面进行喷涂。

技术领域

本实用新型属于旋转靶材技术领域，具体涉及一种旋转靶材制备装置。

背景技术

旋转靶材是磁控的靶材，靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动，而旋转靶材在制备的过程中广泛采用镀膜沉积工艺，通过喷枪对管状的工件表面进行轰击喷射，靶材表面材料以分子、原子、离子或电子等形式被溅射出来，飞溅到工件上沉积成膜，从而形成旋转靶材。

但是目前市场上的旋转靶材制备装置在使用过程中存在较多的缺陷，例如，在使用时无法全方面且均匀的对靶材管材进行喷涂，管材上的涂料容易集中在某一区域，从而影响镀膜靶材的质量和密度，另外，没有设置便于快速安装与拆卸靶材管材的结构，固定和拆卸时操作繁琐不便，从而影响制备时的工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种旋转靶材制备装置，以解决上述背景技术中提出的无法全方面且均匀的对靶材管材进行喷涂，以及没有设置便于快速安装与拆卸靶材管材的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种旋转靶材制备装置，包括箱体，所述箱体的底部安装有支撑柱，且箱体的一侧固定有控制器，所述箱体的侧壁安装有密闭箱门，且箱体的一侧靠近控制器的下方通过螺栓固定连接有电机，所述电机的输出轴延伸至箱体内部的一端通过螺纹连接有空心管，所述空心管的外壁安装有靶材管材，所述密闭箱门的内部顶端安装有两个固定板，两个所述固定板之间固定有滑杆，所述滑杆的外壁套设有滑套，所述滑套的一侧安装有高压喷头，其中一个所述固定板的侧壁靠近滑杆的一侧固定有液压缸，所述液压缸远离固定板的一端通过液压杆与滑套相连接，所述电机与控制器电性连接。

优选的，所述空心管的两端均贯穿有连接杆，所述连接杆延伸至空心管内部的一端安装有拉环，且连接杆延伸至空心管外部的一端固定有限位板，所述连接杆的外壁且位于空心管与靶材管材之间套设有弹簧，所述空心管与靶材管材之间靠近弹簧的一侧安装有伸缩筒。

优选的，所述密闭箱门的侧壁安装有观察窗和把手，且观察窗位于把手的一侧。

优选的，所述电机的外壁安装有保护罩，所述保护罩的外壁开设有散热孔。

优选的，所述支撑柱的底部安装有滑轮，所述滑轮的外壁开设有防滑槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型通过液压缸伸缩带动滑套使其在滑杆上滑动，而后滑套带动高压喷头沿着滑杆做往返运动，从而使材料均匀喷涂在靶材管材上，同时通过电机带动空心管转动，然后使空心管带动其外壁的靶材管材转动，从而能够全方面进行喷涂。

(2)本实用新型通过按压限位板使其带动连接杆下移，而后使限位板与空心管之间的距离减小，从而便于将靶材管材套在空心管上，同时在弹簧的作用下能够使限位板紧贴在靶材管材的内壁，进而完成紧固，拆卸时只需拉动拉环即可分离限位板与靶材管材，从而便于取下靶材管材。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型箱体的内部结构示意图；

图3为本实用新型空心管与靶材管材连接时的结构示意图；