[实用新型]基板切割装置有效
| 申请号： | 201921605353.9 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN211367409U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 朴鲁贤 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/02 | 分类号： | C03B33/02 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 许伟群;周晓雨 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 根据本实用新型实施例的基板切割装置可以包括：吸附部件，构成为能够吸附单位基板；虚设部加压部件，当吸附部件吸附单位基板时，对存在于单位基板的边缘部的虚设部加压；以及气体喷射喷嘴，设置在所述吸附部件的周围，并构成为向吸附在所述吸附部件的所述单位基板的边缘部喷射气体，以去除残留在所述单位基板的边缘部上的虚设部。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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