[实用新型]基板切割装置

说明书

根据本实用新型实施例的基板切割装置可以包括：吸附部件，构成为能够吸附单位基板；虚设部加压部件，当吸附部件吸附单位基板时，对存在于单位基板的边缘部的虚设部加压；以及气体喷射喷嘴，设置在所述吸附部件的周围，并构成为向吸附在所述吸附部件的所述单位基板的边缘部喷射气体，以去除残留在所述单位基板的边缘部上的虚设部。

技术领域

本实用新型涉及将基板切割成单位基板的基板切割装置。

背景技术

通常，用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示面板、无机电致发光显示面板、透射投影仪基板、反射投影仪基板等使用单位玻璃面板(以下，称为“单位基板”)，所述单元玻璃面板是通过如玻璃等脆性的母玻璃面板(以下，称为“基板”)切割成预定尺寸而获得的。

将基板切割成单元基板的工序包括：划片工序，所述划片工序是用如钻石等材料制成的划片轮来加压基板后，沿着基板将要切割的假想的切割预定线移动划片轮来在基板上形成划线，从而将基板分断成单位基板；以及基板搬送工序，拾取通过划片工序分断的单位基板并搬送至后续工序。

在基板被分断成单位基板之后，在单位基板的至少一个边缘部上会存在不用于实际产品而被丢弃的部分的虚设部(废玻璃)。这种虚设部应从单位基板分离，但可能因为多种原因以附着于单位基板的边缘部的状态残留。因此，会发生以虚设部残留在单位基板的边缘部的状态单位基板被搬送到后续工序的问题。此外，还有可能发生在将单位基板搬送到后续工序的过程中，残留在单位基板的边缘部上的虚设部掉落在意想不到地方的问题。

实用新型内容

本实用新型是用于解决上述现有技术的问题，本实用新型的目的在于提供一种能够在单位基板的搬送过程中去除残留在单位基板的边缘部上的虚设部的基板切割装置。

为了达到上述目的，根据本实用新型的实施例的基板切割装置可以包括：吸附部件，构成为能够吸附单位基板；虚设部加压部件，构成为当吸附部件吸附单位基板时，对存在于单位基板的边缘部的虚设部加压；以及气体喷射喷嘴，设置在所述吸附部件的周围，并朝向吸附在吸附部件上的单位基板的边缘部喷射气体，以去除残留在单位基板边缘部上的虚设部。

可以是，气体喷射喷嘴相对于直交于所述单位基板的表面的垂直轴倾斜设置。

基板切割装置还可以包括喷嘴旋转模块，所述喷嘴旋转模块使气体喷射喷嘴以直交于垂直轴的水平轴为中心并旋转，调节相对于垂直轴的气体喷射喷嘴的倾斜角。

基板切割装置还可以包括虚设部检测传感器，所述虚设部检测传感器设置在吸附部件的周围，以检测吸附于吸附部件的单位基板的边缘部上是否存在虚设部，当通过虚设部检测传感器检测到虚设部时，可以从气体喷射喷嘴向虚设部喷射气体。

根据本实用新型实施例的基板切割装置还可以包括装载台，单位基板位于所述装载台；以及虚设部收容单元，所述虚设部收容单元设置在从装载台搬送的单位基板的搬送路径上，以收容从单位基板去除的虚设部，当吸附部件位于虚设部收容单元的上方时，可以从气体喷射喷嘴喷射气体。

根据本实用新型的实施例的基板切割装置还可以包括：气体供给源，向气体喷射喷嘴供给气体；以及气体温度调节模块，调节从气体供给源供给到气体喷射喷嘴的气体温度。

根据本实用新型实施例的基板切割装置还可以包括向气体喷射喷嘴供给气体的气体供给源，气体供给源周期性地改变气体的压力并向气体喷射喷嘴供给气体。

实用新型效果

根据本实用新型实施例的基板切割装置，由于能够在单位基板的搬送过程中去除残留在单位基板的边缘部上的虚设部，因此能够防止以虚设部残留在单位基板的边缘部上的状态，单位基板被搬送至后续工序，并能够防止在单位基板的搬送过程中，残留在单位基板的边缘部上的虚设部在意想不到的地方掉落。

附图说明