[实用新型]一种探针台有效
申请号: | 201921566696.9 | 申请日: | 2019-09-20 |
公开(公告)号: | CN211122940U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 杨应俊;李景均;沈杰 | 申请(专利权)人: | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种探针台。所述探针台包括用于安装保护结构的机架,所述探针台在操作面设置有,第一保护板,固定于机架;第一导向部,平行于第一保护板并连接于机架;第一滑动门,运动连接于第一导向部;所述第一滑动门设置有第一限位块;第一滑动门沿第一导向部运动使第一滑动门止抵于机架,或者所述第一限位块沿第一导向部方向止抵于第一保护板;第一滑动门止抵于机架时,第一滑动门有面积S1遮盖于第一保护板;第一限位块沿第一导向部止抵于第一保护板时,第一滑动门有面积S2遮盖于第一保护板;所述面积S1大于面积S2;满足探针台的使用要求,结构简单,使用方便可靠。 | ||
搜索关键词: | 一种 探针 | ||
【主权项】:
暂无信息
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