[实用新型]一种探针台有效

专利信息
申请号: 201921566696.9 申请日: 2019-09-20
公开(公告)号: CN211122940U 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 杨应俊;李景均;沈杰 申请(专利权)人: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04;H01L21/66
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 探针
【权利要求书】:

1.一种探针台,所述探针台包括用于安装保护结构的机架,其特征在于:

所述探针台在操作面设置有,

第一保护板,固定于机架;

第一导向部,平行于第一保护板并连接于机架;

第一滑动门,运动连接于第一导向部;所述第一滑动门设置有第一限位块;第一滑动门沿第一导向部运动使第一滑动门止抵于机架,或者所述第一限位块沿第一导向部方向止抵于第一保护板;

第一滑动门止抵于机架时,第一滑动门有面积S1遮盖于第一保护板;第一限位块沿第一导向部止抵于第一保护板时,第一滑动门有面积S2遮盖于第一保护板;所述面积S1大于面积S2。

2.根据权利要求1所述的探针台,其特征在于:所述探针台还包括,

第二滑动门,所述第二滑动门运动连接于第一导向部;所述第二滑动门设置有第二限位块和把手;所述第二滑动门运动使第二限位块止抵于第一滑动门,所述第二滑动门有面积S3遮盖于第一滑动门;或者所述第二滑动门运动使把手止抵于第一滑动门,所述第二滑动门有面积S4遮盖于第一滑动门;所述面积S3大于面积S4。

3.根据权利要求2所述的探针台,其特征在于:所述把手设置有缓冲橡胶环,所述把手止抵于第二滑动门时,所述缓冲橡胶环与第二滑动门接触。

4.根据权利要求2所述的探针台,其特征在于:所述把手设置有护手块,所述护手块沿把手从第二滑动门延伸,且延伸高度高于把手接触第二滑动门的高度,所述护手块用于隔离操作者的手和第一滑动门。

5.根据权利要求1所述的探针台,其特征在于:所述探针台设置有第二导向部,所述第二导向部沿平行于第一导向部方向安装于机架;所述第一滑动门运动连接于第二导向部。

6.根据权利要求5所述的探针台,其特征在于:所述第一导向部和第二导向部沿垂直于第一滑动门运动方向的两端分开设置。

7.根据权利要求1所述的探针台,其特征在于:第一滑动门沿第一导向部运动使第一滑动门止抵于机架,替代的方案为:所述第一限位块止抵于机架或第一保护板;则第一限位块止抵于机架或第一保护板时,所述第一滑动门有面积S1遮盖于第一保护板。

8.根据权利要求1所述的探针台,其特征在于:所述第一限位块沿第一导向部方向止抵于第一保护板,替代的技术方案为:所述机架设置有抵挡块,第一滑动门沿第一导向部运动使第一滑动门止抵于抵挡块,此时第一滑动门有面积S2遮盖于第一保护板。

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