[实用新型]一种探针台

说明书

本实用新型公开了一种探针台。所述探针台包括用于安装保护结构的机架，所述探针台在操作面设置有，第一保护板，固定于机架；第一导向部，平行于第一保护板并连接于机架；第一滑动门，运动连接于第一导向部；所述第一滑动门设置有第一限位块；第一滑动门沿第一导向部运动使第一滑动门止抵于机架，或者所述第一限位块沿第一导向部方向止抵于第一保护板；第一滑动门止抵于机架时，第一滑动门有面积S1遮盖于第一保护板；第一限位块沿第一导向部止抵于第一保护板时，第一滑动门有面积S2遮盖于第一保护板；所述面积S1大于面积S2；满足探针台的使用要求，结构简单，使用方便可靠。

技术领域

本实用新型涉及一种探针台。

背景技术

探针台为用于测试晶圆的设备，为了保护操作者的安全需要设置保护门；然而常规的保护门采用翻折结构，造成保护门使用空间较大，不利于减小探针台整体占用空间；平开推拉窗结构采用多块玻璃相互重叠，从而减小操作空间；一些储存柜的门也是采用类似的多扇门重叠结构用于减小使用空间；然而上述平开推拉窗和储存柜的结构能够满足在任何位置都能完全打开，对于探针台使用场合来讲上述操作麻烦，用于探针台设备的实用性不强。

实用新型内容

为解决探针台保护门使用空间大的问题，本实用新型提出一种探针台采用了类似平开推拉窗结构的技术方案。

本实用新型的技术方案为：一种探针台，所述探针台包括用于安装保护结构的机架，

所述探针台在操作面设置有，

第一保护板，固定于机架；

第一导向部，平行于第一保护板并连接于机架；

第一滑动门，运动连接于第一导向部；所述第一滑动门设置有第一限位块；第一滑动门沿第一导向部运动使第一滑动门止抵于机架，或者所述第一限位块沿第一导向部方向止抵于第一保护板；

第一滑动门止抵于机架时，第一滑动门有面积S1遮盖于第一保护板；第一限位块沿第一导向部止抵于第一保护板时，第一滑动门有面积S2遮盖于第一保护板；所述面积S1大于面积S2。

进一步的，所述探针台还包括，

第二滑动门，所述第二滑动门运动连接于第一导向部；所述第二滑动门设置有第二限位块和把手；所述第二滑动门运动使第二限位块止抵于第一滑动门，所述第二滑动门有面积S3遮盖于第一滑动门；或者所述第二滑动门运动使把手止抵于第一滑动门，所述第二滑动门有面积S4遮盖于第一滑动门；所述面积S3大于面积S4。

进一步的，所述把手设置有缓冲橡胶环，所述把手止抵于第二滑动门时，所述缓冲橡胶环与第二滑动门接触。

进一步的，所述把手设置有护手块，所述护手块沿把手从第二滑动门延伸，且延伸高度高于把手接触第二滑动门的高度，所述护手块用于隔离操作者的手和第一滑动门。

进一步的，所述探针台设置有第二导向部，所述第二导向部沿平行于第一导向部方向安装于机架；所述第一滑动门运动连接于第二导向部。

进一步的，所述第一导向部和第二导向部沿垂直于第一滑动门运动方向的两端分开设置。

进一步的，第一滑动门沿第一导向部运动使第一滑动门止抵于机架，替代的方案为：所述第一限位块止抵于机架或第一保护板；则第一限位块止抵于机架或第一保护板时，所述第一滑动门有面积S1遮盖于第一保护板。

进一步的，所述第一限位块沿第一导向部方向止抵于第一保护板，替代的技术方案为：所述机架设置有抵挡块，第一滑动门沿第一导向部运动使第一滑动门止抵于抵挡块，此时第一滑动门有面积S2遮盖于第一保护板。

本实用新型的有益效果在于：满足探针台的使用要求，结构简单，使用方便可靠。

附图说明