[实用新型]一种射频匹配网络及射频电源系统有效
| 申请号： | 201921485810.5 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN211206608U | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 乐卫平;张桂东 | 申请（专利权）人： | 深圳市百世达半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;G01K7/02;G01K7/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高勇 |
| 地址： | 518102 广东省深圳市宝安区西乡街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种射频匹配网络，在获取L/C网络输出的射频交流电时，充分考虑到环境温度对信号采集的影响，恒温采样模块会先对自身所处的环境温度进行调整，以将环境温度调整至预设温度范围内，然后采集L/C网络输出端的射频交流电，以便后续第一处理器根据射频交流电通过所述驱动电路对L/C网络进行阻抗调整，实现L/C网络及负载的网络匹配。可见，由于恒温采样模块实现的是恒温采集，从而保证了自身静态工作点的稳定，使得采样信号不会发生失真，提高了采样信号的采样精度及后续的阻抗匹配精度，提高了射频电源系统的工作效率。本实用新型还公开了一种射频电源系统，具有与上述射频匹配网络相同的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 匹配 网络 电源 系统 | ||
【主权项】：
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