[实用新型]一种射频匹配网络及射频电源系统

说明书

本实用新型公开了一种射频匹配网络，在获取L/C网络输出的射频交流电时，充分考虑到环境温度对信号采集的影响，恒温采样模块会先对自身所处的环境温度进行调整，以将环境温度调整至预设温度范围内，然后采集L/C网络输出端的射频交流电，以便后续第一处理器根据射频交流电通过所述驱动电路对L/C网络进行阻抗调整，实现L/C网络及负载的网络匹配。可见，由于恒温采样模块实现的是恒温采集，从而保证了自身静态工作点的稳定，使得采样信号不会发生失真，提高了采样信号的采样精度及后续的阻抗匹配精度，提高了射频电源系统的工作效率。本实用新型还公开了一种射频电源系统，具有与上述射频匹配网络相同的优点。

技术领域

本实用新型涉及射频电源技术领域，特别是涉及一种射频匹配网络及射频电源系统。

背景技术

射频电源系统中的射频电源的负载可以为等离子体，考虑到等离子体的阻抗随时变化，为了实现阻抗匹配，提高射频电源系统的工作效率，现有的射频电源系统除了包括射频电源，还包括设置于射频电源与负载之间的射频匹配网络，以通过对射频匹配网络中L/C匹配网络的阻抗的调整来实现L/C匹配网络与负载的阻抗之和与射频电源的阻抗的匹配。在对L/C匹配网络的阻抗调整的过程中，通常要对经过射频匹配网络阻抗匹配后输出至负载的输出电源进行采样，现有的采样电路受所处环境温度的影响，在环境温度发生变化时其静态工作点也发生变化，从而造成采样信号的失真，降低了阻抗匹配的精度，降低了射频电源系统的工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种射频匹配网络及射频电源系统，提高了采样信号的采样精度及后续的阻抗匹配精度，提高了射频电源系统的工作效率。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种射频匹配网络，包括：

输入端与射频电源连接、输出端与负载连接的L/C网络；

与所述L/C网络的控制端连接的驱动电路；

与所述L/C网络的输出端连接的恒温采样模块，用于将自身所处环境温度调整在预设温度范围内，并采集所述L/C网络输出端的射频交流电；

分别与所述恒温采样模块及所述驱动电路连接的第一处理器，用于根据所述射频交流电通过所述驱动电路对所述L/C网络进行阻抗调整，以实现所述L/C网络及负载的网络匹配。

优选地，所述恒温采样模块包括：

电压采样模块，用于采集所述L/C网络的输出端的射频交流电压；

电流采样模块，用于采集所述L/C网络的输出端的射频交流电流；

温度传感器，用于采集自身所处的环境温度；

加热模块和制冷模块；

分别与所述电压采样模块、所述电流采样模、所述温度传感器、所述加热模块和所述制冷模块连接的第二处理器，用于通过控制所述加热模块和所述制冷模块将所述环境温度保持在预设温度范围内并输出所述射频交流电压和所述射频交流电流。

优选地，所述恒温采样模块还包括：

ARC弧检测模块，用于采集所述L/C网络的输出端的射频交流电压采样率和射频交流电流采样率；

所述第二处理器与所述ARC弧检测模块连接，还用于输出所述射频交流电压采样率和射频交流电流采样率，以便所述第一处理器以所述电压采样率不超过电压采样率阈值以及电流采样率不超过电流采样率阈值为约束条件对所述L/C网络进行阻抗调整。

优选地，所述加热模块包括：

控制端与所述第二处理器连接的第一开关；

加热器件及第一电源，所述加热器件、第一电源及所述第一开关构成串联回路。

优选地，所述制冷模块包括：