[实用新型]一种射频匹配网络及射频电源系统

权利要求书

1.一种射频匹配网络，其特征在于，包括：

输入端与射频电源连接、输出端与负载连接的L/C网络；

与所述L/C网络的控制端连接的驱动电路；

与所述L/C网络的输出端连接的恒温采样模块，用于将自身所处环境温度调整在预设温度范围内，并采集所述L/C网络输出端的射频交流电；

分别与所述恒温采样模块及所述驱动电路连接的第一处理器，用于根据所述射频交流电通过所述驱动电路对所述L/C网络进行阻抗调整，以实现所述L/C网络及负载的网络匹配。

2.如权利要求1所述的射频匹配网络，其特征在于，所述恒温采样模块包括：

电压采样模块，用于采集所述L/C网络的输出端的射频交流电压；

电流采样模块，用于采集所述L/C网络的输出端的射频交流电流；

温度传感器，用于采集自身所处的环境温度；

加热模块和制冷模块；

分别与所述电压采样模块、所述电流采样模、所述温度传感器、所述加热模块和所述制冷模块连接的第二处理器，用于通过控制所述加热模块和所述制冷模块将所述环境温度保持在预设温度范围内并输出所述射频交流电压和所述射频交流电流。

3.如权利要求2所述的射频匹配网络，其特征在于，所述恒温采样模块还包括：

ARC弧检测模块，用于采集所述L/C网络的输出端的射频交流电压采样率和射频交流电流采样率；

所述第二处理器与所述ARC弧检测模块连接，还用于输出所述射频交流电压采样率和射频交流电流采样率，以便所述第一处理器以所述电压采样率不超过电压采样率阈值以及电流采样率不超过电流采样率阈值为约束条件对所述L/C网络进行阻抗调整。

4.如权利要求2所述的射频匹配网络，其特征在于，所述加热模块包括：

控制端与所述第二处理器连接的第一开关；

加热器件及第一电源，所述加热器件、第一电源及所述第一开关构成串联回路。

5.如权利要求2所述的射频匹配网络，其特征在于，所述制冷模块包括：

控制端与所述第二处理器连接的第二开关；

制冷器件及第二电源，所述制冷器件、所述第二电源及所述第二开关构成串联回路。

6.如权利要求3所述的射频匹配网络，其特征在于，所述电压采样模块包括：

用于采集射频交流电压的电压传感器；

所述电流采样模块包括：

用于采集射频交流电流的电流传感器；

所述ARC弧检测模块包括：

用于采集射频交流电压采样率和射频交流电流采样率的ARC传感器；

所述电压采样模块、所述电流采样模块及所述ARC传感器均还包括：

与各自对应传感器连接的低通滤波器，用于滤除各自采样信号中的高频分量；

与所述低通滤波器连接的衰减器，用于将滤波后的采样信号衰减至单转双模块的输入信号处理范围内；

与所述衰减器连接的单转双模块，用于将衰减后的采样信号由单端信号转换为差模信号；

分别与所述单转双模块及所述第二处理器连接的ADC，用于将所述差模信号由模拟量转换为数字量。

7.如权利要求1至6任一项所述的射频匹配网络，其特征在于，所述驱动电路包括：

步进马达；

与所述步进马达连接的角位移传感器；

分别与所述步进马达及所述角位移传感器连接的马达驱动电路，用于根据所述第一处理器的控制信号对所述步进马达进行闭环控制。

8.如权利要求2所述的射频匹配网络，其特征在于，所述第一处理器为DSP，所述第二处理器为FPGA。

9.一种射频电源系统，包括射频电源，其特征在于，还包括如权利要求1至8任一项所述的射频匹配网络。