[实用新型]一种多晶硅热场坩埚装置

摘要

本实用新型涉及多晶硅加热附属装置的技术领域，特别是涉及一种多晶硅热场坩埚装置，其工作釜内部可以方便进行观察，从而提高其实用性；包括工作釜，工作釜内部设置有工作腔，工作釜顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖；挡盖顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板，挡盖顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块、带动柱、带动板、安装板和海绵擦，还包括后固定板、前固定板、把手、连接架和丝杠，前固定板后端设置有第一轴承座，并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片，第一轴承座后端设置有第一挡片，还包括多组第一套簧和多组第一可伸缩管。