[实用新型]一种多晶硅热场坩埚装置

权利要求书

1.一种多晶硅热场坩埚装置，包括工作釜（1），工作釜（1）内部设置有工作腔，工作釜（1）顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖（2）；其特征在于，挡盖（2）顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板（3），挡盖（2）顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块（4）、带动柱（5）、带动板（6）、安装板（7）和海绵擦（8），带动柱（5）顶端与滑块（4）连接，带动柱（5）底端穿过前后向连通口并伸入至工作釜（1）内部与带动板（6）顶端左方连接，海绵擦（8）安装在安装板（7）顶端，海绵擦（8）贴紧透明观察板（3）底侧壁，还包括后固定板（9）、前固定板（10）、把手（11）、连接架（12）和丝杠（13），后固定板（9）和前固定板（10）分别安装在挡盖（2）顶端左侧后方和前方，前固定板（10）后端设置有第一轴承座，并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片，第一轴承座后端设置有第一挡片（14），把手（11）可转动固定在连接架（12）后端，丝杠（13）后端与连接架（12）前部连接，丝杠（13）前端穿过后固定板（9）后侧壁并伸出至后固定板（9）前方，丝杠（13）前端穿过第一挡片（14）插入至第一滚珠轴承内部与第一限位片连接，滑块（4）螺装套在丝杠（13）外侧，还包括多组第一套簧（15）和多组第一可伸缩管，多组第一套簧（15）的一端均与安装板（7）连接，多组第一套簧（15）的另一端均与带动板（6）连接，多组第一可伸缩管的一端均与安装板（7）连接，多组第一可伸缩管的另一端均与带动板（6）连接，多组第一套簧（15）分别套装在多组第一可伸缩管外侧。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅热场坩埚装置，其特征在于，还包括转把（16）、转动架（17）、插柱（18）、插管（19）、带动轴（20）和搅拌叶组（21），转把（16）和转动架（17）均位于工作釜（1）的外侧，转把（16）安装在转动架（17）上，搅拌叶组（21）位于工作腔内，插柱（18）的顶端与转动架（17）连接，带动轴（20）安装在插管（19）底端，搅拌叶组（21）安装在带动轴（20）上。

3.如权利要求2所述的一种多晶硅热场坩埚装置，其特征在于，插柱（18）底端插入至插管（19）顶端内部，还包括限位柱（22）、两组限位弹簧和两组定位块（23），插柱（18）内部下方设置有限位腔，插柱（18）左侧壁和右侧壁上设置有左通孔和右通孔，插管（19）左侧壁和右侧壁分别设置有左限位孔和右限位孔，限位柱（22）安装在限位腔内底侧壁，两组限位弹簧位于限位腔内，两组限位弹簧的一端分别与限位柱（22）左侧和右侧连接，两组定位块（23）的一端分别安装在两组限位弹簧的另一端，两组定位块（23）的另一端分别穿过左通孔和右通孔，并且两组定位块（23）的另一端分别插入至左限位孔内和右限位孔内。

4.如权利要求3所述的一种多晶硅热场坩埚装置，其特征在于，还包括还包括滑轮组（24）、限位环（25）和限位杆组（26），限位环（25）套设在带动轴（20）外侧，限位杆组（26）一端与限位环（25）连接，限位杆组（26）另一端与挡盖（2）底侧壁连接，滑轮组（24）一端与限位环（25）内侧连接，滑轮组（24）另一端与带动轴（20）外侧贴紧接触。

5.如权利要求4所述的一种多晶硅热场坩埚装置，其特征在于，还包括连接杆（27）、安装片（28）、挂板（29）、固定板（30）、第二套簧（31）和第二可伸缩管，连接杆（27）安装在工作釜（1）后侧上方，安装片（28）前端与连接杆（27）后侧上方连接，挂板（29）安装在安装片（28）后端，第二套簧（31）后侧与挂板（29）前侧连接，固定板（30）安装在第二套簧（31）前侧，第二可伸缩管后侧与挂板（29）前侧连接，固定板（30）安装在第二可伸缩管前侧，第二套簧（31）套装在第二可伸缩管外侧。