[实用新型]一种多晶硅热场坩埚装置

说明书

本实用新型涉及多晶硅加热附属装置的技术领域，特别是涉及一种多晶硅热场坩埚装置，其工作釜内部可以方便进行观察，从而提高其实用性；包括工作釜，工作釜内部设置有工作腔，工作釜顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖；挡盖顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板，挡盖顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块、带动柱、带动板、安装板和海绵擦，还包括后固定板、前固定板、把手、连接架和丝杠，前固定板后端设置有第一轴承座，并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片，第一轴承座后端设置有第一挡片，还包括多组第一套簧和多组第一可伸缩管。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅加热附属装置的技术领域，特别是涉及一种多晶硅热场坩埚装置。

背景技术

众所周知，多晶硅热场坩埚装置是一种用于多晶硅生产加工过程中，对半成品进行加热，使其更好进行后续处理的辅助装置，其在多晶硅加热的领域中得到了广泛的使用；现有的多晶硅热场坩埚装置包括工作釜，工作釜内部设置有工作腔，工作釜顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖；现有的多晶硅热场坩埚装置使用时，通过取放口取放半成品，并将工作釜置于热源上方进行加热使其内部半成品进行反应即可；现有的多晶硅热场坩埚装置使用中发现，其工作釜内部不能方便进行观察，从而导致其实用性较差。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种其工作釜内部可以方便进行观察，从而提高其实用性的多晶硅热场坩埚装置。

本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，包括工作釜，工作釜内部设置有工作腔，工作釜顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖；挡盖顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板，挡盖顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块、带动柱、带动板、安装板和海绵擦，带动柱顶端与滑块连接，带动柱底端穿过前后向连通口并伸入至工作釜内部与带动板顶端左方连接，海绵擦安装在安装板顶端，海绵擦贴紧透明观察板底侧壁，还包括后固定板、前固定板、把手、连接架和丝杠，后固定板和前固定板分别安装在挡盖顶端左侧后方和前方，前固定板后端设置有第一轴承座，并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片，第一轴承座后端设置有第一挡片，把手可转动固定在连接架后端，丝杠后端与连接架前部连接，丝杠前端穿过后固定板后侧壁并伸出至后固定板前方，丝杠前端穿过第一挡片插入至第一滚珠轴承内部与第一限位片连接，滑块螺装套在丝杠外侧，还包括多组第一套簧和多组第一可伸缩管，多组第一套簧的一端均与安装板连接，多组第一套簧的另一端均与带动板连接，多组第一可伸缩管的一端均与安装板连接，多组第一可伸缩管的另一端均与带动板连接，多组第一套簧分别套装在多组第一可伸缩管外侧。

本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，还包括转把、转动架、插柱、插管、带动轴和搅拌叶组，转把和转动架均位于工作釜的外侧，转把安装在转动架上，搅拌叶组位于工作腔内，插柱的顶端与转动架连接，带动轴安装在插管底端，搅拌叶组安装在带动轴上。

本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，插柱底端插入至插管顶端内部，还包括限位柱、两组限位弹簧和两组定位块，插柱内部下方设置有限位腔，插柱左侧壁和右侧壁上设置有左通孔和右通孔，插管左侧壁和右侧壁分别设置有左限位孔和右限位孔，限位柱安装在限位腔内底侧壁，两组限位弹簧位于限位腔内，两组限位弹簧的一端分别与限位柱左侧和右侧连接，两组定位块的一端分别安装在两组限位弹簧的另一端，两组定位块的另一端分别穿过左通孔和右通孔，并且两组定位块的另一端分别插入至左限位孔内和右限位孔内。

本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，还包括还包括滑轮组、限位环和限位杆组，限位环套设在带动轴外侧，限位杆组一端与限位环连接，限位杆组另一端与挡盖底侧壁连接，滑轮组一端与限位环内侧连接，滑轮组另一端与带动轴外侧贴紧接触。