[实用新型]镀膜装置有效
| 申请号： | 201921467409.9 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN210529031U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 何宝东;王凯;宋文庆;张建飞;盛兆亚 | 申请（专利权）人： | 苏州沃盾纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C16/00 |
| 代理公司： | 苏州佳博知识产权代理事务所(普通合伙) 32342 | 代理人： | 罗宏伟 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种镀膜装置，其包括具有镀膜腔室的主体部、盖板组件以及密封元件，所述盖板组件包括盖板以及固定在所述盖板上的摇臂；所述镀膜装置还包括用以顶起所述盖板组件的至少两组顶起机构以及用以驱动所述摇臂带动盖板绕第一转轴旋转的旋转驱动机构；所述摇臂设有位于所述第一转轴的一侧且与所述盖板相固定的固定部以及位于所述第一转轴的另一侧的施力部；所述旋转驱动机构包括旋转驱动件以及位置补偿机构，所述位置补偿机构与所述施力部相连，用以在所述盖板组件被顶起的过程中避免使所述旋转驱动件受力。如此设置，本实用新型的镀膜装置性能较好且易于操作。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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