[实用新型]镀膜装置

权利要求书

1.一种镀膜装置(100)，其包括具有镀膜腔室(10)的主体部(1)、安装在所述主体部(1)上的盖板组件(2)以及位于所述主体部(1)与所述盖板组件(2)之间的密封元件(3)，所述盖板组件(2)包括用以密封所述镀膜腔室(10)的盖板(21)以及固定在所述盖板(21)上的摇臂(22)；其特征在于：所述镀膜装置(100)还包括用以顶起所述盖板组件(2)的至少两组顶起机构(4)以及在所述盖板组件(2)被顶起后用以驱动所述摇臂(22)绕第一转轴(71)旋转以打开所述镀膜腔室(10)的旋转驱动机构(5)，其中所述两组顶起机构(4)包括用以顶起所述盖板组件(2)的顶起驱动件(41)，所述第一转轴(71)与相应的所述顶起驱动件(41)的驱动端相连，以能够在初始位置(A)以及顶起位置(B)之间运动；所述摇臂(22)设有位于所述第一转轴(71)的一侧且与所述盖板(21)相固定的固定部(221)以及位于所述第一转轴(71)的另一侧的施力部(222)；所述旋转驱动机构(5)包括旋转驱动件(51)以及连接在所述旋转驱动件(51)的驱动端的位置补偿机构(52)，所述位置补偿机构(52)与所述施力部(222)相连，所述位置补偿机构(52)用以在所述盖板组件(2)被顶起的过程中避免使所述旋转驱动件(51)受力；所述镀膜装置(100)还设有平行于所述第一转轴(71)的第二转轴(72)，其中所述第一转轴(71)能够绕所述第二转轴(72)旋转。

2.如权利要求1所述的镀膜装置(100)，其特征在于：所述两组顶起机构(4)分别具有所述顶起驱动件(41)，所述第一转轴(71)与其中一个所述顶起驱动件(41)的驱动端相连。

3.如权利要求2所述的镀膜装置(100)，其特征在于：所述两组顶起机构(4)分别设有与所述盖板(21)相配合的滚轮(42)。

4.如权利要求1所述的镀膜装置(100)，其特征在于：所述施力部(222)包括第一延伸臂(2221)、第二延伸臂(2222)以及连接在所述第一延伸臂(2221)与所述第二延伸臂(2222)之间的横杆(2223)，所述位置补偿机构(52)与所述横杆(2223)相连。

5.如权利要求1所述的镀膜装置(100)，其特征在于：所述镀膜装置(100)还设有当所述盖板(21)覆盖所述镀膜腔室(10)时，以补偿因所述密封元件(3)被压缩而导致所述盖板(21)产生位移的补偿机构。

6.如权利要求5所述的镀膜装置(100)，其特征在于：所述补偿机构包括所述第二转轴(72)以及连接所述第一转轴(71)与所述第二转轴(72)的连接臂(73)。

7.如权利要求5所述的镀膜装置(100)，其特征在于：所述补偿机构包括与所述盖板(21)相连的弹簧机构或者弹性材料。

8.如权利要求1所述的镀膜装置(100)，其特征在于：所述盖板(21)能够在所述旋转驱动机构(5)的驱动下旋转90度至垂直位置，所述镀膜装置(100)包括将所述盖板(21)固定在所述垂直位置的保险机构(6)。

9.如权利要求4所述的镀膜装置(100)，其特征在于：所述盖板(21)能够在所述旋转驱动机构(5)的驱动下旋转90度至垂直位置，所述镀膜装置(100)包括将所述盖板(21)固定在所述垂直位置的保险机构(6)，所述保险机构(6)为锁扣在所述横杆(2223)上的挂钩(61)。

10.如权利要求8所述的镀膜装置(100)，其特征在于：所述保险机构(6)为插销。

11.如权利要求1所述的镀膜装置(100)，其特征在于：所述位置补偿机构(52)设有与所述旋转驱动件(51)的受力端面(511)相卡扣的限位端面(521)以及相对于所述限位端面(521)的抵靠端面(522)，所述限位端面(521)与所述抵靠端面(522)相隔一补偿距离，所述第一转轴(71)相对所述顶起驱动件(41)移动具有一顶升距离，所述补偿距离大于或小于所述顶升距离。