[实用新型]镀膜装置

说明书

一种镀膜装置，其包括具有镀膜腔室的主体部、盖板组件以及密封元件，所述盖板组件包括盖板以及固定在所述盖板上的摇臂；所述镀膜装置还包括用以顶起所述盖板组件的至少两组顶起机构以及用以驱动所述摇臂带动盖板绕第一转轴旋转的旋转驱动机构；所述摇臂设有位于所述第一转轴的一侧且与所述盖板相固定的固定部以及位于所述第一转轴的另一侧的施力部；所述旋转驱动机构包括旋转驱动件以及位置补偿机构，所述位置补偿机构与所述施力部相连，用以在所述盖板组件被顶起的过程中避免使所述旋转驱动件受力。如此设置，本实用新型的镀膜装置性能较好且易于操作。

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜装置，能够应用于气相沉积真空镀膜技术领域。

背景技术

镀膜设备的镀膜腔室都需要至少一个可开闭的盖板，以便往镀膜腔室内装载产品和从镀膜腔室内卸载已被镀膜的产品。盖板的开启方式主要有上开和侧开两种，其中上开的开启方式多采用手动吊装机构或气缸驱动的提升机构，其自动化程度低；因为开启后的盖板需要平移至设备的侧面，导致设备占地面积大；另外，盖板内侧的膜层清理操作不方便，操作者不得不下蹲操作或将沉重的盖板移到另外的工作区域清理膜层。翻转侧开的开启方式多采用手动操作，由于盖板的重量较大，手动开启和关闭操作，费时费力且不安全，须经其他机构或工具辅助才能完成。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种性能较好且易于操作的镀膜装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种镀膜装置，其包括具有镀膜腔室的主体部、安装在所述主体部上的盖板组件以及位于所述主体部与所述盖板组件之间的密封元件，所述盖板组件包括用以密封所述镀膜腔室的盖板以及固定在所述盖板上的摇臂；所述镀膜装置还包括用以顶起所述盖板组件的至少两组顶起机构以及在所述盖板组件被顶起后用以驱动所述摇臂绕第一转轴旋转以打开所述镀膜腔室的旋转驱动机构，其中所述两组顶起机构包括用以顶起所述盖板组件的顶起驱动件，所述第一转轴与相应的所述顶起驱动件的驱动端相连，以能够在初始位置以及顶起位置之间运动；所述摇臂设有位于所述第一转轴的一侧且与所述盖板相固定的固定部以及位于所述第一转轴的另一侧的施力部；所述旋转驱动机构包括旋转驱动件以及连接在所述旋转驱动件的驱动端的位置补偿机构，所述位置补偿机构与所述施力部相连，所述位置补偿机构用以在所述盖板组件被顶起的过程中避免使所述旋转驱动件受力；所述镀膜装置还设有平行于所述第一转轴的第二转轴，其中所述第一转轴能够绕所述第二转轴旋转。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述两组顶起机构分别具有所述顶起驱动件，所述第一转轴与其中一个所述顶起驱动件的驱动端相连。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述两组顶起机构分别设有与所述盖板相配合的滚轮。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述施力部包括第一延伸臂、第二延伸臂以及连接在所述第一延伸臂与所述第二延伸臂之间的横杆，所述位置补偿机构与所述横杆相连。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述镀膜装置还设有当所述盖板覆盖所述镀膜腔室时，以补偿因所述密封元件被压缩而导致所述盖板产生位移的补偿机构。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述补偿机构包括所述第二转轴以及连接所述第一转轴与所述第二转轴的连接臂。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述补偿机构包括与所述盖板相连的弹簧机构或者弹性材料。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述盖板能够在所述旋转驱动机构的驱动下旋转90度至垂直位置，所述镀膜装置包括将所述盖板固定在所述垂直位置的保险机构。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述盖板能够在所述旋转驱动机构的驱动下旋转90度至垂直位置，所述镀膜装置包括将所述盖板固定在所述垂直位置的保险机构，所述保险机构为锁扣在所述横杆上的挂钩。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述保险机构为插销。