[实用新型]半潜式真空室入射透镜清洗装置有效
| 申请号： | 201921425387.X | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN210154689U | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 张弛 | 申请（专利权）人： | 贵阳利特斯仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/02;G02B7/02 |
| 代理公司： | 贵州启辰知识产权代理有限公司 52108 | 代理人： | 赵彦栋;周廉凤 |
| 地址： | 550018 贵州省贵阳市乌当*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半潜式真空室入射透镜清洗装置，包括前挡板、透镜安装板、后挡板和连接板，前挡板的两侧四周分别与后挡板的四周、连接板的四周连接在一起，连接板与样品台一侧可拆卸连接在一起，后挡板与真空室一侧可拆卸连接在一起，前挡板、后挡板和连接板中部分别设有直径一致的圆柱形通孔，前挡板和后挡板的前后两侧及连接板右侧通孔周向上分别设有密封橡胶圈，透镜安装板上设有可与通孔同轴的安装透镜的安装孔，透镜安装板可滑动设在前挡板与后挡板间，且其上端高于前挡板和/后挡板，透镜安装板上、下端上分别垂直设有上限位件和下限位件，上限位件位于前挡板和后挡板顶部上，前挡板朝向透镜安装板侧的通孔下方竖直设有可供下限位件在其中滑动的滑槽。 | ||
| 搜索关键词： | 半潜式 真空 入射 透镜 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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