[实用新型]半潜式真空室入射透镜清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种半潜式真空室入射透镜清洗装置，包括前挡板、透镜安装板、后挡板和连接板，前挡板的两侧四周分别与后挡板的四周、连接板的四周连接在一起，连接板与样品台一侧可拆卸连接在一起，后挡板与真空室一侧可拆卸连接在一起，前挡板、后挡板和连接板中部分别设有直径一致的圆柱形通孔，前挡板和后挡板的前后两侧及连接板右侧通孔周向上分别设有密封橡胶圈，透镜安装板上设有可与通孔同轴的安装透镜的安装孔，透镜安装板可滑动设在前挡板与后挡板间，且其上端高于前挡板和/后挡板，透镜安装板上、下端上分别垂直设有上限位件和下限位件，上限位件位于前挡板和后挡板顶部上，前挡板朝向透镜安装板侧的通孔下方竖直设有可供下限位件在其中滑动的滑槽。

技术领域

本实用新型涉及光谱仪，特别涉及一种半潜式真空室入射透镜清洗装置。

背景技术

光谱仪真空室透镜距离样品台较近，样品激发时产生的蒸发气体会污染入射透镜，致使光谱仪的测量精度显著下降。由于入射透镜处的作用主要是把真空环境和大气环境分隔开，已有的镜片保护方式为吹氩气保护，但这种方式长时间使用依然会污染镜片，清洗时需要破坏真空环境。本实用新型可以在不破坏真空环境的情况下方便快捷清洗镜片。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种半潜式真空室入射透镜清洗装置，可实现不破坏真空环境就能方便快捷清洗镜片。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

半潜式真空室入射透镜清洗装置，包括前挡板、透镜安装板、后挡板和连接板，所述前挡板的一侧四周与后挡板的四周可拆卸连接在一起，所述前挡板的另一侧四周与连接板的四周可拆卸连接在一起，所述连接板的另一侧四周与样品台一侧可拆卸连接在一起，所述后挡板的另一侧四周与真空室一侧可拆卸连接在一起，所述前挡板、后挡板和连接板中部分别设有直径一致的圆柱形通孔，所述前挡板和后挡板的前后两侧通孔周向上分别设有圆环形密封橡胶圈，所述连接板右侧通孔周向上设有圆环形橡胶密封圈，所述透镜安装板上设有可与通孔同轴的安装孔，透镜安装在透镜安装孔内，所述透镜安装板可滑动设置在前挡板与后挡板间，所述透镜安装板上端高于前挡板和/后挡板，所述透镜安装板上端上垂直设有上限位件，所述上限位件位于前挡板和/后挡板顶部上，下端上垂直设有下限位件，所述前挡板和/后挡板朝向透镜安装板侧的通孔下方竖直设有滑槽，所述下限位件可在滑槽中滑动。

进一步，所述透镜安装板的上部设有手拉环。

进一步，所述手拉环为设置在透镜安装板上的圆孔。

进一步，所述前挡板侧面上设有可与其通孔相连通的氩气进气孔。

进一步，所述限位件为螺丝。

进一步，所述前挡板的一侧四角与后挡板的四角通过螺丝穿过螺纹孔连接在一起，所述前挡板的另一侧四角与连接板的四角通过螺丝穿过螺纹孔连接在一起，所述连接板的另一侧四角与样品台一侧通过螺丝穿过螺纹孔连接在一起，所述后挡板的另一侧四角与真空室一侧通过螺丝穿过螺纹孔连接在一起，所述螺纹孔对应螺丝的帽端为沉头孔。

进一步，所述通孔周向设置有环形槽，所述密封橡胶圈固定在环形槽内。

更进一步，所述密封橡胶圈在轴向上的厚度为3mm，环形槽在轴向上的厚度为2mm。

再进一步，所述所述前挡板和后挡板顶部下凹形成槽，所述槽的宽度与透镜安装板在左右方向上的宽度一致。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型的半潜式真空室入射透镜清洗装置，通过在前挡板与后挡板间设置可滑动的透镜安装板，透镜安装板两侧分别与前挡板和后挡板上通孔周向的密封橡胶圈紧密接触，在滑动透镜安装板时由于上下限位件的作用，透镜安装板不会离开密封橡胶圈，不会破坏真空环境，当然也能使透镜与通孔对齐，向上拉到一定程度后可使透镜显露在前挡板和后挡板外，此时清洗透镜很方便。