[实用新型]半潜式真空室入射透镜清洗装置

权利要求书

1.半潜式真空室入射透镜清洗装置，其特征在于：包括前挡板、透镜安装板、后挡板和连接板，所述前挡板的一侧四周与后挡板的四周可拆卸连接在一起，所述前挡板的另一侧四周与连接板的四周可拆卸连接在一起，所述连接板的另一侧四周与样品台一侧可拆卸连接在一起，所述后挡板的另一侧四周与真空室一侧可拆卸连接在一起，所述前挡板、后挡板和连接板中部分别设有直径一致的圆柱形通孔，所述前挡板和后挡板的前后两侧通孔周向上分别设有圆环形密封橡胶圈，所述连接板右侧通孔周向上设有圆环形橡胶密封圈，所述透镜安装板上设有可与通孔同轴的安装孔，透镜安装在透镜安装孔内，所述透镜安装板可滑动设置在前挡板与后挡板间，所述透镜安装板上端高于前挡板和/后挡板，所述透镜安装板上端上垂直设有上限位件，所述上限位件位于前挡板和/后挡板顶部上，下端上垂直设有下限位件，所述前挡板和/后挡板朝向透镜安装板侧的通孔下方竖直设有滑槽，所述下限位件可在滑槽中滑动。

2.根据权利要求1所述的半潜式真空室入射透镜清洗装置，其特征在于：所述透镜安装板的上部设有手拉环。

3.根据权利要求2所述的半潜式真空室入射透镜清洗装置，其特征在于：所述手拉环为设置在透镜安装板上的圆孔。

4.根据权利要求1-3任一所述的半潜式真空室入射透镜清洗装置，其特征在于：所述前挡板侧面上设有可与其通孔相连通的氩气进气孔。

5.根据权利要求4所述的半潜式真空室入射透镜清洗装置，其特征在于：所述限位件为螺丝。

6.根据权利要求5所述的半潜式真空室入射透镜清洗装置，其特征在于：所述前挡板的一侧四角与后挡板的四角通过螺丝穿过螺纹孔连接在一起，所述前挡板的另一侧四角与连接板的四角通过螺丝穿过螺纹孔连接在一起，所述连接板的另一侧四角与样品台一侧通过螺丝穿过螺纹孔连接在一起，所述后挡板的另一侧四角与真空室一侧通过螺丝穿过螺纹孔连接在一起，所述螺纹孔对应螺丝的帽端为沉头孔。

7.根据权利要求6所述的半潜式真空室入射透镜清洗装置，其特征在于：所述通孔周向设置有环形槽，所述密封橡胶圈固定在环形槽内。

8.根据权利要求7所述的半潜式真空室入射透镜清洗装置，其特征在于：所述密封橡胶圈在轴向上的厚度为3mm，环形槽在轴向上的厚度为2mm。

9.根据权利要求8所述的半潜式真空室入射透镜清洗装置，其特征在于：所述前挡板和后挡板顶部下凹形成槽，所述槽的宽度与透镜安装板在左右方向上的宽度一致。