[实用新型]一种真空反应室的温度侦测结构有效
| 申请号： | 201921415273.7 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN210268956U | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 陈永萍;王浩明;张莉 | 申请（专利权）人： | 苏州子山半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K13/00 | 分类号： | G01K13/00;G01K1/14 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 薛芳芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空反应室的温度侦测结构，包括连接柱与插头，所述插头的左端的上下两侧各设置有一个连接柱，所述连接柱通过套接连接在插头的左端的上下两侧，所述连接柱与插头通过套接连接，所述插头的右端的上侧设置有刻度尺，本实用新型中通过在该温度侦测结构的直杆的一侧设置有弹簧，这样可以使得在进行插接的时候，使得在弹簧的作用下可以使得插接的时候更加的稳定与精确，不会发生插接之后将加热板顶歪的现象，该温度侦测结构底部做成弹簧式结构，旁边加上刻度尺，通过刻度尺可以计算出弹簧压缩长度，解决了现有的温度侦测结构在安装时可能会导致插入过多或过少导致加热板接触不良或者把加热板顶歪的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 反应 温度 侦测 结构 | ||
【主权项】：
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