[实用新型]一种真空反应室的温度侦测结构

说明书

本实用新型公开了一种真空反应室的温度侦测结构，包括连接柱与插头，所述插头的左端的上下两侧各设置有一个连接柱，所述连接柱通过套接连接在插头的左端的上下两侧，所述连接柱与插头通过套接连接，所述插头的右端的上侧设置有刻度尺，本实用新型中通过在该温度侦测结构的直杆的一侧设置有弹簧，这样可以使得在进行插接的时候，使得在弹簧的作用下可以使得插接的时候更加的稳定与精确，不会发生插接之后将加热板顶歪的现象，该温度侦测结构底部做成弹簧式结构，旁边加上刻度尺，通过刻度尺可以计算出弹簧压缩长度，解决了现有的温度侦测结构在安装时可能会导致插入过多或过少导致加热板接触不良或者把加热板顶歪的问题。

技术领域

本实用新型属于仪器仪表相关技术领域，具体涉及一种真空反应室的温度侦测结构。

背景技术

热电偶是温度测量仪表中常用的测温元件，它直接测量温度，并把温度信号转换成热电动势信号，通过电气仪表转换成被测介质的温度。各种热电偶的外形常因需要而极不相同，但是它们的基本结构却大致相同，通常由热电极、绝缘套保护管和接线盒等主要部分组成，通常和显示仪表、记录仪表及电子调节器配套使用。

现有的温度侦测结构技术存在以下问题：现有的温度侦测结构在安装时很容易将温度侦测结构过多插入或插歪，导致加热板被顶歪，机台生产的芯片直接放在加热板上，若加热板歪斜，将导致芯片的均匀度不佳，甚至影响传送。另外，若是温度侦测结构没有完全插入，将导致温度侦测结构与加热板接触不够，侦测温度不准，如此影响芯片的蚀刻率更为严重。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空反应室的温度侦测结构，以解决上述背景技术中提出的现有的温度侦测结构在进行安装的可能会导致插入过多或过少导致加热板接触不良或者把加热板顶歪的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空反应室的温度侦测结构，包括连接柱与插头，所述插头的左端的上下两侧各设置有一个连接柱，所述连接柱通过套接连接在插头的左端的上下两侧，所述连接柱与插头通过套接连接，所述插头的右端的上侧设置有刻度尺，所述刻度尺与插头通过插接连接，所述插头的右端的轴心处设置有弹簧，所述弹簧与插头通过套接连接，所述弹簧的右端设置有直杆，所述直杆与弹簧通过整体热熔固定连接，所述弹簧的组成包括有第一支杆、本体和第二支杆，所述第一支杆的右端设置有本体，所述本体的右端设置有第二支杆，所述弹簧通过第一支杆与插头通过插接连接。

优选的，所述插头的组成包括有主体、第一连接孔和第二连接孔，所述主体的右端的表侧的左端设置有第一连接孔，所述主体的右端的表侧的右端设置有第二连接孔，所述插头通过第一连接孔与弹簧通过插接连接。

优选的，所述刻度尺的组成包括有连接端、刻度线、计数表和尺体，所述连接端的右端设置有尺体，所述尺体的前端的表侧的上端设置有刻度线，所述刻度线的下端设置有计数表，所述刻度尺通过连接端与插头通过插接连接。

优选的，所述连接柱共设置有两个，两个所述连接柱分别呈对称设置在插头的左端的上下两侧，两个所述连接柱均为圆柱体结构。

优选的，所述刻度尺为扁平状的矩形体结构，所述刻度尺的长度为五厘米，所述刻度尺的宽度为一点二厘米，所述刻度尺的厚度为零点五厘米。

优选的，所述第一连接孔和第二连接孔均设置在主体的右端的表侧，所述第一连接孔和第二连接孔分别呈对称布置，所述第一连接孔和第二连接孔的形状尺寸均不相同。

优选的，所述弹簧为卷曲状结构，所述弹簧的本身具备一定的弹性，所述弹簧的宽度为两点五厘米，所述弹簧的长度为五厘米。

优选的，所述直杆为圆柱体结构，所述直杆的长度为十二厘米，所述直杆的外侧的表端设置有陶瓷套筒。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种真空反应室的温度侦测结构，具备以下有益效果：