[实用新型]一种真空反应室的温度侦测结构有效
| 申请号: | 201921415273.7 | 申请日: | 2019-08-28 |
| 公开(公告)号: | CN210268956U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
| 发明(设计)人: | 陈永萍;王浩明;张莉 | 申请(专利权)人: | 苏州子山半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | G01K13/00 | 分类号: | G01K13/00;G01K1/14 |
| 代理公司: | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人: | 薛芳芳 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 真空 反应 温度 侦测 结构 | ||
1.一种真空反应室的温度侦测结构,包括连接柱(1)与插头(2),其特征在于:所述插头(2)的左端的上下两侧各设置有一个连接柱(1),所述连接柱(1)通过套接连接在插头(2)的左端的上下两侧,所述连接柱(1)与插头(2)通过套接连接,所述插头(2)的右端的上侧设置有刻度尺(3),所述刻度尺(3)与插头(2)通过插接连接,所述插头(2)的右端的轴心处设置有弹簧(4),所述弹簧(4)与插头(2)通过套接连接,所述弹簧(4)的右端设置有直杆(5),所述直杆(5)与弹簧(4)通过整体热熔固定连接,所述弹簧(4)的组成包括有第一支杆(41)、本体(42)和第二支杆(43),所述第一支杆(41)的右端设置有本体(42),所述本体(42)的右端设置有第二支杆(43),所述弹簧(4)通过第一支杆(41)与插头(2)通过插接连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空反应室的温度侦测结构,其特征在于:所述插头(2)的组成包括有主体(21)、第一连接孔(22)和第二连接孔(23),所述主体(21)的右端的表侧的左端设置有第一连接孔(22),所述主体(21)的右端的表侧的右端设置有第二连接孔(23),所述插头(2)通过第一连接孔(22)与弹簧(4)通过插接连接。
3.根据权利要求1所述的一种真空反应室的温度侦测结构,其特征在于:所述刻度尺(3)的组成包括有连接端(31)、刻度线(32)、计数表(33)和尺体(34),所述连接端(31)的右端设置有尺体(34),所述尺体(34)的前端的表侧的上端设置有刻度线(32),所述刻度线(32)的下端设置有计数表(33),所述刻度尺(3)通过连接端(31)与插头(2)通过插接连接。
4.根据权利要求1所述的一种真空反应室的温度侦测结构,其特征在于:所述连接柱(1)共设置有两个,两个所述连接柱(1)分别呈对称设置在插头(2)的左端的上下两侧,两个所述连接柱(1)均为圆柱体结构。
5.根据权利要求1所述的一种真空反应室的温度侦测结构,其特征在于:所述刻度尺(3)为扁平状的矩形体结构,所述刻度尺(3)的长度为五厘米,所述刻度尺(3)的宽度为一点二厘米,所述刻度尺(3)的厚度为零点五厘米。
6.根据权利要求2所述的一种真空反应室的温度侦测结构,其特征在于:所述第一连接孔(22)和第二连接孔(23)均设置在主体(21)的右端的表侧,所述第一连接孔(22)和第二连接孔(23)分别呈对称布置,所述第一连接孔(22)和第二连接孔(23)的形状尺寸均不相同。
7.根据权利要求1所述的一种真空反应室的温度侦测结构,其特征在于:所述弹簧(4)为卷曲状结构,所述弹簧(4)的本身具备一定的弹性,所述弹簧(4)的宽度为两点五厘米,所述弹簧(4)的长度为五厘米。
8.根据权利要求1所述的一种真空反应室的温度侦测结构,其特征在于:所述直杆(5)为圆柱体结构,所述直杆(5)的长度为十二厘米,所述直杆(5)的外侧的表端设置有陶瓷套筒。
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