[实用新型]一种单晶炉高低炉压切换及稳压系统有效
| 申请号： | 201921393669.6 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN211036175U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;王鹏飞;吴虞超;王小飞;傅林坚;曹建伟 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型是关于单晶硅制备设备领域，特别涉及一种单晶炉高低炉压切换及稳压系统。用于连接真空腔体和泵，包括并联的多路阀路，每路阀路包括相互串联的口径相同的球阀和蝶阀；各路阀路内的球阀能相互独立控制该路开闭，蝶阀能通过PLC检测管内压力并调节开度从而达到稳压效果；本实用新型与往常单个蝶阀稳压相比，本实用新型能够根据不同的炉压需求切换相应的管路并达到稳压的效果，这在之前是不能实现的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 高低 切换 稳压 系统 | ||
【主权项】：
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