[实用新型]一种单晶炉高低炉压切换及稳压系统

说明书

本实用新型是关于单晶硅制备设备领域，特别涉及一种单晶炉高低炉压切换及稳压系统。用于连接真空腔体和泵，包括并联的多路阀路，每路阀路包括相互串联的口径相同的球阀和蝶阀；各路阀路内的球阀能相互独立控制该路开闭，蝶阀能通过PLC检测管内压力并调节开度从而达到稳压效果；本实用新型与往常单个蝶阀稳压相比，本实用新型能够根据不同的炉压需求切换相应的管路并达到稳压的效果，这在之前是不能实现的。

技术领域

本实用新型是关于单晶硅制备设备领域，特别涉及一种单晶炉高低炉压切换及稳压系统。

背景技术

在直拉法单晶炉生产硅单晶的过程中，需要提供真空环境避免单晶硅被氧化。现阶段使用位于单晶炉真空系统尾侧的蝶阀进行炉压控制，但是由于单个大口径蝶阀在高炉压的工况下无法稳压，而单个小口径蝶阀在低炉压的工况下也无法稳压，使得压力波动幅度较大或者无法到达所需压力范围，影响晶棒质量。本专利涉及的稳压系统可以实现不同炉压的切换及稳压控制，从而保证在不同炉压需求的情况下实现稳压控制，进一步的保证晶棒质量。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种单晶炉高低炉压切换及稳压系统。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的解决方案是：

提供一种用于单晶炉高低炉压切换及稳压系统，系统用于连接真空腔体和泵，包括并联的多路阀路，每路阀路包括相互串联的口径相同的球阀和蝶阀；各路阀路内的球阀能相互独立控制该路开闭，蝶阀能通过PLC检测管内压力并调节开度从而达到稳压效果；

作为一种改进，多路阀路通过支撑抱箍设于支撑架上。

作为一种改进，阀路与真空腔体连接的干线处，设有压力表，能实时监测炉内压力大小。

作为一种改进，各个阀路内还设有连接波纹管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

与往常单个蝶阀稳压相比，本实用新型能够根据不同的炉压需求切换相应的管路并达到稳压的效果，这在之前是不能实现的。

附图说明

图1为本实用新型的实物(以两路管道为例)主视图。

图2为本实用新型的实物(以两路管道为例)俯视图。

图3为本实用新型的管路示意图。

图中：1–支撑抱箍、2–支撑架、3-第一波纹管、4–变径三通、5–第一蝶阀、6–第一球阀、7–压力表、8–第二蝶阀、9-四通、10-第二波纹管、11-第二球阀、12-真空腔体、13-泵。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明：

如图1、图2所示的一种用于单晶炉高低炉压切换及稳压系统，系统用于连接真空腔体12和泵13，包括通过变径三通4相连的并联的第一阀路和第二阀路，第一阀路包括相互串联的口径相同的第一球阀6和第一蝶阀5，第一阀路两端设有第一波纹管3。第二阀路包括相互串联的口径相同的第二球阀11和第二蝶阀8，第二球阀11和第二蝶阀8间还设有第二波纹管10和连接四通9，四通9预留两个开口，方便清理堆积氧化物。其中第二球阀11的口径大于第一球阀6。

各路阀路内的球阀能相互独立控制该路开闭，且各路蝶阀能通过PLC检测管内压力并调节开度从而达到稳压效果；各个阀路通过支撑抱箍1设于支撑架2上。支撑抱箍 1为两瓣式，下端为外螺纹，用于固定管路于架子上。第一阀路与真空腔体12连接的干线处，设有压力表7，能实时监测炉内压力大小。

本实用新型的工作过程为：