[实用新型]一种单晶炉高低炉压切换及稳压系统有效
| 申请号： | 201921393669.6 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN211036175U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;王鹏飞;吴虞超;王小飞;傅林坚;曹建伟 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 高低 切换 稳压 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于单晶炉高低炉压切换及稳压系统，其特征在于，所述系统用于连接真空腔体和泵，包括并联的多路阀路，每路阀路包括相互串联的口径相同的球阀和蝶阀；各路阀路内的球阀能相互独立控制该路开闭，蝶阀能通过PLC检测管内压力并调节开度；所述每路阀路与真空腔体连接的干线处，均设有压力表，能实时监测炉内压力大小。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述多路阀路通过支撑抱箍设于支撑架上。
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