[实用新型]一种光阻供应装置及涂胶设备有效
申请号: | 201921364688.6 | 申请日: | 2019-08-21 |
公开(公告)号: | CN210181385U | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 程龙;刘运田;刘玉兴;杨澜 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京北旭电子材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 李欣 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及平板显示制造技术领域,特别涉及一种光阻供应装置及涂胶设备。该光阻供应装置包括:支架框及光阻桶,光阻桶悬空固定于支架框内;光阻桶的桶底向外凸出且形成有最低点,最低点设置有用于连接光阻涂布机台的出料端口;光阻桶的顶部设置有进料端口以及用于调节光阻桶内压强的稳压结构。光阻桶的桶底向外凸出,桶内盛装的光阻在重力作用下向下流动,随着使用消耗会逐渐集中到光阻桶底部的最低处,并自最低处的出料端口接入光阻涂布机台使用,不会在光阻桶底部存留积液,有效减少了光阻滞留桶内所引起的浪费;而支架框对光阻桶除了固定支撑以及保护作用,进一步方便了装置的转移与更换,为光阻涂布机台提供更稳定的光阻供应。 | ||
搜索关键词: | 一种 供应 装置 涂胶 设备 | ||
【主权项】:
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