[实用新型]一种光阻供应装置及涂胶设备

权利要求书

1.一种光阻供应装置，其特征在于，包括：支架框及光阻桶，所述光阻桶悬空固定于所述支架框内；

所述光阻桶的桶底向外凸出且形成有最低点，所述最低点设置有用于连接光阻涂布机台的出料端口；

所述光阻桶的顶部设置有进料端口以及用于调节所述光阻桶内压强的稳压结构。

2.根据权利要求1所述的光阻供应装置，其特征在于，所述稳压结构包括进气端口、排气端口以及自动稳压器。

3.根据权利要求2所述的光阻供应装置，其特征在于，所述光阻桶的顶部设有上封头，所述进料端口、所述进气端口、所述排气端口以及所述自动稳压器均设置于所述上封头上。

4.根据权利要求3所述的光阻供应装置，其特征在于，所述上封头设置有清洗盖，所述清洗盖内侧设置有用于清洗所述光阻桶内部的清洗组件。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的光阻供应装置，其特征在于，所述光阻桶的内壁覆有四氟树脂膜。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的光阻供应装置，其特征在于，所述光阻桶的桶底为倒圆锥形。

7.根据权利要求1所述的光阻供应装置，其特征在于，所述支架框包括用于安装所述光阻桶的板框以及设置于所述板框底部的底托架；

所述板框的顶部设有吊装口，所述底托架设置有叉车口。

8.根据权利要求7所述的光阻供应装置，其特征在于，所述板框的顶部还设置有防滑板，所述防滑板在所述底托架上的正投影与所述光阻桶在所述底托架上的正投影有重叠。

9.根据权利要求7所述的光阻供应装置，其特征在于，所述底托架的底部还设置有与所述出料端口对应的出料口托盘。

10.一种涂胶设备，其特征在于，包括光阻涂布机台以及如权利要求1-9中任一项所述的光阻供应装置，所述光阻供应装置的出料端口与所述光阻涂布机台相连接。