[实用新型]激光SE电池的生产线

摘要

本实用新型公开了一种激光SE电池的生产线，包括依次设置的：激光掺杂机，链式氧化炉，以及链式刻蚀机；这三个设备的输送机构依次对接。硅片可由这三个设备的输送机构接力输送；激光掺杂机输出的激光掺杂处理后硅片可直接输入链式氧化炉，链式氧化炉输出的热氧化处理后硅片可进直接输入链式刻蚀机。链式氧化炉中的硅片可在第二输送机构的输送过程中被氧化，故链式氧化炉可连续生产，可大大提高产能；且本实用新型不需要采用石英舟装载硅片，可省去石英舟的插片和取片动作，可大大减少硅片的碎片发生率。