[实用新型]激光SE电池的生产线

说明书

本实用新型公开了一种激光SE电池的生产线，包括依次设置的：激光掺杂机，链式氧化炉，以及链式刻蚀机；这三个设备的输送机构依次对接。硅片可由这三个设备的输送机构接力输送；激光掺杂机输出的激光掺杂处理后硅片可直接输入链式氧化炉，链式氧化炉输出的热氧化处理后硅片可进直接输入链式刻蚀机。链式氧化炉中的硅片可在第二输送机构的输送过程中被氧化，故链式氧化炉可连续生产，可大大提高产能；且本实用新型不需要采用石英舟装载硅片，可省去石英舟的插片和取片动作，可大大减少硅片的碎片发生率。

技术领域

本实用新型涉及光伏领域，具体涉及一种激光SE电池的生产线。

背景技术

SE（Selective Emitter选择性发射极）太阳能电池制造过程中，需要采用激光掺杂机对金属栅线（电极）与硅片接触部位进行激光开槽重掺，但激光扫描过程中，激光开槽区域的PSG会被破坏，在后续的刻蚀步骤中（刻蚀步骤在刻蚀设备中实施），被破坏的PSG不足以保护激光开槽区域，激光开槽区域会被刻蚀液（如碱刻蚀液）腐蚀，以致短路电流、开路电压和填充因子均低。

为了解决上述问题，需要在激光掺杂步骤和刻蚀步骤中间增加氧化步骤，通过氧化处理使激光开槽区域覆盖氧化层，该氧化层可在硅片刻蚀（如碱刻蚀）过程中保护激光开槽区域，避免激光开槽区域被刻蚀液（如碱刻蚀液）腐蚀。

目前一般在管式氧化设备中实施上述氧化步骤，管式氧化设备需要采用石英舟装载硅片，先将硅片插入石英舟，再将装满硅片的石英舟放入管式氧化设备的石英管中，石英管中通入氧气，且在石英管外壁使用电阻丝加热的方式给硅片加热，从而在硅片表面形成氧化层（氧化层覆盖激光开槽区域），氧化完成后，将石英舟从石英管中取出，再将硅片从石英舟汇中取出。

虽然管式氧化设备能够实施上述氧化步骤，但使用管式氧化设备实施上述氧化步骤会存在较多缺陷：

1、产能低：管式氧化设备需要采用石英舟装载硅片，而石英舟进出石英管需要时间，且石英舟从石英管中取出后需要经历降温过程，导致产能低，会成为光伏制造厂商的生产瓶颈。

2、硅片碎片率高：管式氧化设备需要采用石英舟装载硅片，而将硅片插入石英舟是个复杂的动作，插片过程中可能会损伤硅片，且硅片氧化完成后，还需要将硅片从石英舟中取出，取片过程中也可能会损伤硅片，造成硅片碎片率高。

3、设备对接不方便：管式氧化设备需要采用石英舟装载硅片，而石英舟需要配套插片设备和取片设备，不方便管式氧化设备与前道设备（激光掺杂机）、后道设备（刻蚀设备）对接。

实用新型内容

为了解决现有技术中的缺陷，本实用新型提供一种激光SE电池的生产线，包括依次设置的：

激光掺杂机，其对扩散处理后的硅片进行激光掺杂处理；

链式氧化炉，其对激光掺杂处理后的硅片进行热氧化处理；

以及链式刻蚀机，其对热氧化处理后的硅片进行刻蚀处理；

所述激光掺杂机设有：用于输出激光掺杂处理后硅片的第一输送机构；第一输送机构为传送带或辊道；

所述链式氧化炉设有：用于输送硅片的第二输送机构；第二输送机构为传送带或辊道；

所述链式刻蚀机设有：用于输送硅片的第三输送机构；第三输送机构为辊道；

所述第一输送机构的输出端与第二输送机构的输入端对接，第二输送机构的输出端与第三输送机构的输入端对接。

本实用新型激光SE电池生产线的激光掺杂机、链式氧化炉和链式刻蚀机都设有输送机构，这三个设备的输送机构可依次对接，当这三个设备的输送机构依次对接后，硅片可由这三个设备的输送机构接力输送；激光掺杂机输出的激光掺杂处理后硅片可直接输入链式氧化炉，链式氧化炉输出的热氧化处理后硅片可进直接输入链式刻蚀机。