[实用新型]激光SE电池的生产线

权利要求书

1.激光SE电池的生产线，其特征在于，包括依次设置的：

激光掺杂机，其对扩散处理后的硅片进行激光掺杂处理；

链式氧化炉，其对激光掺杂处理后的硅片进行热氧化处理；

以及链式刻蚀机，其对热氧化处理后的硅片进行刻蚀处理；

所述激光掺杂机设有：用于输出激光掺杂处理后硅片的第一输送机构；第一输送机构为传送带或辊道；

所述链式氧化炉设有：用于输送硅片的第二输送机构；第二输送机构为传送带或辊道；

所述链式刻蚀机设有：用于输送硅片的第三输送机构；第三输送机构为辊道；

所述第一输送机构的输出端与第二输送机构的输入端对接，第二输送机构的输出端与第三输送机构的输入端对接。

2.根据权利要求1所述的激光SE电池的生产线，其特征在于，所述链式氧化炉包括主壳体，主壳体内部设有氧化腔；氧化腔外接有：可向氧化腔输送氧化气体的供气装置；氧化腔内部设有：用于加热硅片的加热装置。

3.根据权利要求2所述的激光SE电池的生产线，其特征在于，所述主壳体由上壳体和下壳体组成，且上壳体与下壳体可拆卸连接。

4.根据权利要求3所述的激光SE电池的生产线，其特征在于，所述上壳体配有驱动其升降的升降驱动机构。

5.根据权利要求4所述的激光SE电池的生产线，其特征在于，所述加热装置包括：用于加热硅片的红外灯管，以及用于控制红外灯管发光强度的功率调节器。

6.根据权利要求5所述的激光SE电池的生产线，其特征在于，所述红外灯管位于第二输送机构的上方、侧方和下方。

7.根据权利要求6所述的激光SE电池的生产线，其特征在于，所述供气装置与上壳体或下壳体连接。

8.根据权利要求7所述的激光SE电池的生产线，其特征在于，所述红外灯管设于上壳体或下壳体中。

9.根据权利要求8所述的激光SE电池的生产线，其特征在于，所述红外灯管可发出波长为100～1100nm的光。

10.根据权利要求9所述的激光SE电池的生产线，其特征在于，所述氧化气体为氧气、臭氧或氮氧混合气体。

11.根据权利要求1所述的激光SE电池的生产线，其特征在于，所述链式刻蚀机采用酸刻蚀工艺或碱刻蚀工艺。

12.根据权利要求1所述的激光SE电池的生产线，其特征在于，所述链式刻蚀机用于去正面PSG和/或背抛。