[实用新型]一种电注入机台

摘要

本实用新型公开了一种电注入机台，其属于光伏技术领域；所述电注入机台内设有用于放置硅片的工作腔，所述电注入机台还包括：上加热装置，设于所述工作腔的顶部；下加热装置，设于所述工作腔的底部；冷却风进气装置,设于所述电注入机台的侧面，用于对所述工作腔进行冷却。本实用新型提出的电注入机台，在工作腔的顶部设置上加热装置，在工作腔的底部设置下加热装置，当硅片叠置在工作腔后，上加热装置和下加热装置同时对硅片进行加热，加热速度快；在电注入机台的侧面设置冷却风进气装置，由冷却风进气装置输送冷却气进入到工作腔内，对工作腔进行降温，防止因长时间工作后工作腔内的温度过高，影响电注入机台的正常工作。

主权项

1.一种电注入机台，所述电注入机台内设有用于放置硅片的工作腔，其特征在于，所述电注入机台还包括：/n上加热装置(1)，设于所述工作腔的顶部；/n下加热装置(2)，设于所述工作腔的底部；/n冷却风进气装置(3),设于所述电注入机台的侧面，用于对所述工作腔进行冷却。/n