[实用新型]一种电注入机台有效
| 申请号: | 201921353577.5 | 申请日: | 2019-08-20 |
| 公开(公告)号: | CN210073901U | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
| 发明(设计)人: | 韩少鹏;胥洋;石伟;罗本前;侯玉;黄浩;杨超;潘励刚;邢国强 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司: | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 工作腔 机台 电注入 上加热装置 下加热装置 进气装置 冷却风 硅片 本实用新型 加热 侧面设置 顶部设置 温度过高 冷却气 叠置 光伏 冷却 侧面 | ||
本实用新型公开了一种电注入机台,其属于光伏技术领域;所述电注入机台内设有用于放置硅片的工作腔,所述电注入机台还包括:上加热装置,设于所述工作腔的顶部;下加热装置,设于所述工作腔的底部;冷却风进气装置,设于所述电注入机台的侧面,用于对所述工作腔进行冷却。本实用新型提出的电注入机台,在工作腔的顶部设置上加热装置,在工作腔的底部设置下加热装置,当硅片叠置在工作腔后,上加热装置和下加热装置同时对硅片进行加热,加热速度快;在电注入机台的侧面设置冷却风进气装置,由冷却风进气装置输送冷却气进入到工作腔内,对工作腔进行降温,防止因长时间工作后工作腔内的温度过高,影响电注入机台的正常工作。
技术领域
本实用新型涉及光伏技术领域,尤其涉及一种电注入机台。
背景技术
光伏电池作为最清洁的可再生资源,应用领域日益广泛。硅太阳能电池是光伏电池中的一种,基于硅无毒、廉价和地壳中储量大的优势,目前,绝大多数商业化的光伏电池都是用硅制作的。
光伏电池都存在光致衰减的问题。为了避免光伏电池发生光致衰减,需要对光伏电池进行抗光衰处理。电注入机台作为一种对光伏电池进行抗光衰处理的设备,层叠的多个硅片放置在电注入机台的工作腔内,能够同时对层叠的多个硅片进行抗光衰处理。
电注入机台将硅片加热到一定温度,从而实现对硅片的抗光衰处理,所以电注入机台的工作腔内会产生大量的热量。而电注入机台的散热性较差,如不及时散热,则容易导致电注入机台内部的电器元件损坏,也会影响对硅片的抗光衰处理效果。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种电注入机台,能够及时对电注入机台内的工作腔进行冷却,防止因工作腔温度过高后影响电注入机台的正常工作。
如上构思,本实用新型所采用的技术方案是:
一种电注入机台,所述电注入机台内设有用于放置硅片的工作腔,所述电注入机台还包括:
上加热装置,设于所述工作腔的顶部;
下加热装置,设于所述工作腔的底部;
冷却风进气装置,设于所述电注入机台的侧面,用于对所述工作腔进行冷却。
可选地,所述冷却风进气装置包括多个沿水平方向平行且间隔设置的进气管路,所述进气管路的端口与所述工作腔连通。
可选地,所述进气管路的所述端口连通有上支管路和下支管路,所述上支管路和所述下支管路与工作腔连通。
可选地,所述电注入机台的侧壁上设有与所述上支管路和所述下支管路一一对应的多个进气孔。
可选地,在所述电注入机台的侧壁上于所述上支管路和所述下支管路之间设有感温装置。
可选地,每一所述进气管路上均设有阀门。
可选地,所述电注入机台的相对的两个侧面均设有所述冷却风进气装置。
可选地,所述电注入机台还设有热排抽风口。
可选地,所述电注入机台的部分侧面设有活动门,所述冷却风进气装置设于所述电注入机台未设有所述活动门的侧面上。
可选地,所述电注入机台的侧面设有多个所述冷却风进气装置,每个所述冷却风进气装置独立控制。
本实用新型提出的电注入机台,在工作腔的顶部设置上加热装置,在工作腔的底部设置下加热装置,当硅片叠置在工作腔后,上加热装置和下加热装置同时对硅片进行加热,加热速度快;在电注入机台的侧面设置冷却风进气装置,当电注入机台长时间工作后,由冷却风进气装置输送冷却气进入到工作腔内,对工作腔进行降温,防止因长时间工作后工作腔内的温度过高,影响电注入机台的正常工作。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





