[实用新型]光学薄膜监控的光控光路系统有效
| 申请号： | 201921347827.4 | 申请日： | 2019-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN210220985U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 陈晓东 | 申请（专利权）人： | 常州鑫立离子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325 | 代理人： | 周颖洁 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光学薄膜监控的光控光路系统，包括发光光源、光纤导光器、光路准直透镜、光电转换器、锁相放大器和数据信号分析系统；所述发光光源通过光纤导光器与光路准直透镜相连接；所述光路准直透镜对应产品基板设置，并将光照射到镀膜的产品基板上；所述光电转换器接收镀膜过程中产品基板上的不同强度的光信号，并转换为电信号；所述锁相放大器接收发光光源的同步信号，并与光电转换器转换的电信号进行比较后送入数据信号分析系统。本实用新型可以根据对应厚度对镀膜过程进行监控。 | ||
| 搜索关键词： | 光学薄膜 监控 光控 系统 | ||
【主权项】：
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