[实用新型]光学薄膜监控的光控光路系统

说明书

本实用新型涉及一种光学薄膜监控的光控光路系统，包括发光光源、光纤导光器、光路准直透镜、光电转换器、锁相放大器和数据信号分析系统；所述发光光源通过光纤导光器与光路准直透镜相连接；所述光路准直透镜对应产品基板设置，并将光照射到镀膜的产品基板上；所述光电转换器接收镀膜过程中产品基板上的不同强度的光信号，并转换为电信号；所述锁相放大器接收发光光源的同步信号，并与光电转换器转换的电信号进行比较后送入数据信号分析系统。本实用新型可以根据对应厚度对镀膜过程进行监控。

技术领域

本实用新型涉及半导体行业以及真空镀膜行业里应用到光学监控的镀膜系统，特别涉及一种光学薄膜监控的光控光路系统。

背景技术

光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。光学薄膜技术的普遍方法是借助真空溅射的方式在玻璃基板上涂镀薄膜，一般用来控制基板对入射光束的反射率和透过率，以满足不同的需要。

膜层的厚度会造成特定波长的反射光有相消的效应，从而改变反射光的颜色，然而现有技术中，成膜的厚度无法精确控制，镀膜设备无法对镀膜过程进行时时监控镀膜厚度。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种镀膜设备可以根据对应厚度对镀膜过程进行监控的光学薄膜监控的光控光路系统。

实现本实用新型目的的技术方案是：一种光学薄膜监控的光控光路系统，包括发光光源、光纤导光器、光路准直透镜、光电转换器、锁相放大器和数据信号分析系统；所述发光光源通过光纤导光器与光路准直透镜相连接；所述光路准直透镜对应产品基板设置，并将光照射到镀膜的产品基板上；所述光电转换器接收镀膜过程中产品基板上的不同强度的光信号，并转换为电信号；所述锁相放大器接收发光光源的同步信号，并与光电转换器转换的电信号进行比较后送入数据信号分析系统。

上述技术方案所述光路准直透镜包括准直透镜、光纤导光组件、匹配连接管件、真空波纹软管、联结法兰和导光器支撑本体；所述准直透镜和光纤导光组件同轴设置在插入导光器支撑本体的通孔内的匹配连接管件中；所述真空波纹软管的一端插入导光器支撑本体的通孔内；所述联结法兰固定于真空波纹软管的另一端。

上述技术方案所述真空波纹软管、导光器支撑本体、准直透镜、光纤导光组件和匹配连接管件之间为真空密封连接。

上述技术方案真空漏率<5*10^-11m³.Pa/s。

上述技术方案所述导光器支撑本体沿轴线方向上开设有截面呈“凸”字形的通孔；所述通孔的小直径端插入匹配连接管件，大直径端与真空波纹软管的一端插接。

采用上述技术方案后，本实用新型具有以下积极的效果：本实用新型的光源发出的光经光纤导光器和光路准直镜的配套组件传输到真空系统中，经过调制的光信号照射到镀膜产品基板上，在镀膜过程中光信号的强度会随着产品基板上膜层厚度的变化而产生变化；变化的光信号经光电转换器转换为电信号，光电转换器出来的代表光信号强弱的电信号和光源本身的同步信号进行比较后送入到数据信号分析系统进行分析可以得出成膜的厚度，镀膜设备可以根据这个厚度对镀膜过程进行监控。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的光路准直透镜的结构示意图。

具体实施方式

(实施例1)