[实用新型]光学薄膜监控的光控光路系统

权利要求书

1.一种光学薄膜监控的光控光路系统，其特征在于：包括发光光源、光纤导光器、光路准直透镜、光电转换器、锁相放大器和数据信号分析系统；所述发光光源通过光纤导光器与光路准直透镜相连接；所述光路准直透镜对应产品基板设置，并将光照射到镀膜的产品基板上；所述光电转换器接收镀膜过程中产品基板上的不同强度的光信号，并转换为电信号；所述锁相放大器接收发光光源的同步信号，并与光电转换器转换的电信号进行比较后送入数据信号分析系统。

2.根据权利要求1所述的光学薄膜监控的光控光路系统，其特征在于：所述光路准直透镜包括准直透镜、光纤导光组件、匹配连接管件、真空波纹软管、联结法兰和导光器支撑本体；所述准直透镜和光纤导光组件同轴设置在插入导光器支撑本体的通孔内的匹配连接管件中；所述真空波纹软管的一端插入导光器支撑本体的通孔内；所述联结法兰固定于真空波纹软管的另一端。

3.根据权利要求2所述的光学薄膜监控的光控光路系统，其特征在于：所述真空波纹软管、导光器支撑本体、准直透镜、光纤导光组件和匹配连接管件之间为真空密封连接。

4.根据权利要求3所述的光学薄膜监控的光控光路系统，其特征在于：真空漏率<5*10^-11m³.Pa/s。

5.根据权利要求3或4所述的光学薄膜监控的光控光路系统，其特征在于：所述导光器支撑本体沿轴线方向上开设有截面呈“凸”字形的通孔；所述通孔的小直径端插入匹配连接管件，大直径端与真空波纹软管的一端插接。