[实用新型]曝光机台电子枪加热系统有效
| 申请号： | 201921338761.2 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN211858576U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 周凯 | 申请（专利权）人： | 无锡迪思微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华;贾传美 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供曝光机台电子枪加热系统，包括：离子泵、分子泵、加热带，分子泵一端通过管道接真空室、另一端接机械泵，离子泵通过管道接入真空室，加热带缠绕在离子泵外部，高温情况下，气体分子运动加速，气体分子与活性膜的反应也会加快，提高了分子泵抽取离子泵内气体的速度，操作方便、结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 机台 电子枪 加热 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡迪思微电子有限公司，未经无锡迪思微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921338761.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种妇科病床护理架
- 下一篇：一种便于清洗的儿科呼吸管
