[实用新型]曝光机台电子枪加热系统

说明书

本实用新型提供曝光机台电子枪加热系统，包括：离子泵、分子泵、加热带，分子泵一端通过管道接真空室、另一端接机械泵，离子泵通过管道接入真空室，加热带缠绕在离子泵外部，高温情况下，气体分子运动加速，气体分子与活性膜的反应也会加快，提高了分子泵抽取离子泵内气体的速度，操作方便、结构简单。

技术领域

本实用新型主要涉及曝光机领域，尤其涉及曝光机台电子枪加热系统。

背景技术

电子束曝光指使用电子束在工件表面上制造图样的工艺，是光刻技术的延伸，是指利用某些有机聚合物对电子敏感的特性，将其加工成精细掩模图形的曝光技术。

图1所示为现有电子束曝光机，电子束曝光的原理是：电子枪的阴极发射电子经加速极，栅极共同作用后，在阳极孔附近由于电磁透镜径向场的向轴作用力汇聚成极细的电子束，再由物镜将它投射到工作台上的工件表面上，计算机将微型电子器件上复杂而精细的图形，转换成数据并传输到图形发生器，由图形发生器控制束偏转器和束流的通断在工件上曝光出图形。

电子束曝光机中的电子束必须在高真空的环境中发射、运动、聚焦和偏移，避免电子与气体分子的碰撞影响电子高速运动,电子抽真空系统则保证了真空室内需要的高真空的环境。

电子束曝光机台更换电子枪后，电子枪内抽取高真空需要时间很长,必须依附设备原先的载体，无法提前准备。

实用新型内容

本实用新型提供曝光机台电子枪加热系统，大大缩减抽真空的时间，为了实现上述目的，采用以下技术方案：包括：离子泵、分子泵、加热带，分子泵一端通过管道接真空室、另一端接机械泵，离子泵通过管道接入真空室，加热带缠绕在离子泵外部，用于对离子泵加热。

优选的，还包括温度传感器，温度传感器设置在加热带与离子泵之间，用于感知加热的温度。

优选的，还包括控制器，控制器与温度传感器、加热带连接，用于自动控制加热。

优选的，所述离子泵，由两块平行的阴极板、两块平行的阳极板构成一个腔体，阴极板采用Ti金属。

优选的，所述温度传感器选用DS18B20，或采用PTC热敏电阻替代温度传感器。

优选的，所述控制器选用单片机，如飞思卡尔系列、51单片机。

优选的，所述加热带采用电加热，加热带内部为加热电阻丝。

优选的，离子泵、分子泵以及机械泵构成电子抽真空系统，电子抽真空系统的外部包裹有保温材料，保温材料选用锡箔纸或玻璃棉或矿物棉。

本实用新型的有益效果：本专利申请在离子泵的外部缠绕加热带，利用加热带对离子泵进行加热，高温情况下，气体分子运动加速，气体分子与活性膜的反应也会加快，提高离子泵的工作效率，且利用温度传感器、加热带以及控制器，构成自动温控系统，操作方便、结构简单。

附图说明

图1为曝光机的结构原理图；

图2为真空系统的结构示意图；

图3为离子泵的工作原理图。

图中，1、电子枪；2、抽真空系统；3、电磁透镜；4、物镜；5、电源及控制系统；6、工作台；7、离子泵；8、加热带；9、温度传感器；10、分子泵；11、机械泵。

具体实施方式