[实用新型]曝光机台电子枪加热系统有效
| 申请号： | 201921338761.2 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN211858576U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 周凯 | 申请（专利权）人： | 无锡迪思微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华;贾传美 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光 机台 电子枪 加热 系统 | ||
【权利要求书】：
1.曝光机台电子枪加热系统，其特征在于：包括：离子泵、分子泵、加热带，分子泵一端通过管道接真空室、另一端接机械泵，离子泵通过管道接入真空室，加热带缠绕在离子泵外部。
2.根据权利要求1所述的曝光机台电子枪加热系统，其特征在于：还包括温度传感器，温度传感器设置在加热带与离子泵之间。
3.根据权利要求2所述的曝光机台电子枪加热系统，其特征在于：还包括控制器，控制器与温度传感器、加热带连接。
4.根据权利要求1所述的曝光机台电子枪加热系统，其特征在于：所述离子泵，由两块平行的阴极板、两块平行的阳极板构成一个腔体，阴极板采用Ti金属。
5.根据权利要求2或3所述的曝光机台电子枪加热系统，其特征在于：所述温度传感器选用DS18B20。
6.根据权利要求3所述的曝光机台电子枪加热系统，其特征在于：所述控制器选用单片机。
7.根据权利要求1所述的曝光机台电子枪加热系统，其特征在于：所述加热带采用电加热，加热带内部为加热电阻丝。
8.根据权利要求1所述的曝光机台电子枪加热系统，其特征在于：离子泵、分子泵以及机械泵构成电子抽真空系统，电子抽真空系统的外部包裹有保温材料。
9.根据权利要求8所述的曝光机台电子枪加热系统，其特征在于：所述保温材料选用锡箔纸或玻璃棉或矿物棉。
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