[实用新型]一种光刻镜头的检测平台

摘要

本实用新型提供一种光刻镜头的检测平台，包括底座和与所述底座连接的支撑件，所述支撑件上设有光源模组，所述支撑件上还设有接收所述光源模组光源的图像模组，所述底座上设有带有被测光刻镜头且接收所述图像模组映射图像的采集模组，本实用新型为一种光刻镜检测平台，包括光源模组、图像模组、以及采集模组，光源模组发出长方形激光光斑至图像模组上，图像模组上自带有图案，图像模组把均匀光斑处理成带有图像的光斑映射至被测镜头由采集模组接收，采集模组输出图片，通过图片仲的图像来计算出镜头的畸变、放大倍率以及MTF，实现一站式检测，工序简单，操作容易，效率高。