[实用新型]一种光刻镜头的检测平台

权利要求书

1.一种光刻镜头的检测平台，包括底座(1)和与所述底座(1)连接的支撑件(2)，其特征在于：所述支撑件(2)上设有光源模组(3)，所述支撑件(2)上还设有接收所述光源模组(3)光源的图像模组(4)，所述底座(1)上设有带有被测光刻镜头(5)且接收所述图像模组(4)映射图像的采集模组(6)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述光源模组(3)与所述图像模组(4)之间还设有用于增加光程的反射模组(7)，所述反射模组(7)设于所述支撑件(2)上。

3.根据权利要求2所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述反射模组(7)包括第一反射镜(71)与第二反射镜(72)，所述第一反射镜(71)接收所述光源模组(3)的光源并反射至所述第二反射镜(72)，所述第二反射镜(72)将光源反射至所述图像模组(4)。

4.根据权利要求1所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述采集模组(6)包括用于安装所述被测光刻镜头(5)的第二安装件(61)和采集所述被测光刻镜头(5)图像来计算出畸变、放大倍率、MTF的CCD(62)。

5.根据权利要求4所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述采集模组(6)还包括用于导向所述第二安装件(61)横向、纵向以及向上移动以带动所述被测光刻镜头(5)移动的第一导向机构(8)。

6.根据权利要求4所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述采集模组(6)还包括与所述CCD(62)连接的第三安装件(63)和与所述第三安装件(63)连接用于导向所述第三安装件(63)横向、纵向以及向上移动以带动所述CCD(62)移动的第二导向机构(9)。

7.根据权利要求5所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述第一导向机构(8)包括第一导向底座(81)、能沿所述第一导向底座(1)上升或下降的第一导向件(82)、能沿所述第一导向件(82)纵向移动的第一纵向导向件(83)以及与所述第二安装件(61)连接且能沿所述第一纵向导向件(83)横向移动的第一横向导向件(84)。

8.根据权利要求6所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述第二导向机构(9)包括第二导向底座(91)、能沿所述第二导向底座(91)上升或下降的第二导向件(92)、能沿所述第二导向件(92)纵向移动的第二纵向导向件(93)以及与所述第三安装件(63)连接且能沿所述第二纵向导向件(93)横向移动的第二横向导向件(94)。

9.根据权利要求7所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述第一导向底座(81)设有能于所述第一导向底座(81)外壁推入或拉出的导向手柄(85)，所述第一导向底座(1)内还设有供所述导向手柄(85)推动而摆动使得所述第二安装件(61)升高的摆动件(86)。

10.根据权利要求7所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述第一导向件(82)上设有导向限位件(821)，所述第一纵向导向件(83)上设有导向限位板(831)。