[实用新型]一种光刻镜头的检测平台

说明书

本实用新型提供一种光刻镜头的检测平台，包括底座和与所述底座连接的支撑件，所述支撑件上设有光源模组，所述支撑件上还设有接收所述光源模组光源的图像模组，所述底座上设有带有被测光刻镜头且接收所述图像模组映射图像的采集模组，本实用新型为一种光刻镜检测平台，包括光源模组、图像模组、以及采集模组，光源模组发出长方形激光光斑至图像模组上，图像模组上自带有图案，图像模组把均匀光斑处理成带有图像的光斑映射至被测镜头由采集模组接收，采集模组输出图片，通过图片仲的图像来计算出镜头的畸变、放大倍率以及MTF，实现一站式检测，工序简单，操作容易，效率高。

【技术领域】

本申请为一种镜头检测平台，尤其涉及一种光刻镜头的检测平台。

【背景技术】

工业镜头是机器视觉系统中十分重要的成像元件，系统若想完全发挥其功能，工业镜头必须要能够满足要求才行。21世纪初，随着机器视觉系统在精密检测领域的广泛应用，普通工业镜头难以满足检测要求，为弥补普通镜头应用之不足，适应精密检测需求，而衍生出了光刻镜头，而光刻镜头出厂前需要先对其的畸变、放大倍率以及MTF进行检测，目前的检测手段对光刻镜进行三次检测才能判断光刻镜是否能出厂，耗时较高，工序繁琐。

综上所述，设计一种一站式检测光刻镜的畸变、放大倍率以及MTF的检测平台为有待解决的问题。

【实用新型内容】

针对目前检测手段单一，要对光刻镜的三项性能逐一检测造成高耗时大工作量的问题，本技术方案提供一种一站式检测的光刻镜头检测平台。

为实现上述目的，本技术方案如下：

一种光刻镜头的检测平台，包括底座和与所述底座连接的支撑件，所述支撑件上设有光源模组，所述支撑件上还设有接收所述光源模组光源的图像模组，所述底座上设有带有被测光刻镜头且接收所述图像模组映射图像的采集模组。

进一步的，所述光源模组与所述图像模组之间还设有用于增加光程的反射模组，所述反射模组设于所述支撑件上。

进一步的，所述反射模组包括第一反射镜与第二反射镜，所述第一反射镜接收所述光源模组的光源并反射至所述第二反射镜，所述第二反射镜将光源反射至所述图像模组。

进一步的，所述采集模组包括用于安装所述被测光刻镜头的第二安装件和采集所述被测光刻镜头图像来计算出畸变、放大倍率、MTF的CCD。

进一步的，所述采集模组还包括用于导向所述第二安装件横向、纵向以及向上移动以带动所述被测光刻镜头移动的第一导向机构。

进一步的，所述采集模组还包括与所述CCD连接的第三安装件和与所述第三安装件连接用于导向所述第三安装件横向、纵向以及向上移动以带动所述CCD移动的第二导向机构。

进一步的，所述第一导向机构包括第一导向底座、能沿所述第一导向底座上升或下降的第一导向件、能沿所述第一导向件纵向移动的第一纵向导向件以及与所述第二安装件连接且能沿所述第一纵向导向件横向移动的第一横向导向件。

进一步的，所述第二导向机构包括第二导向底座、能沿所述第二导向底座上升或下降的第二导向件、能沿所述第二导向件纵向移动的第二纵向导向件以及与所述第三安装件连接且能沿所述第二纵向导向件横向移动的第二横向导向件。

进一步的，所述第一导向底座设有能于所述第一导向底座外壁推入或拉出的导向手柄，所述第一导向底座内还设有供所述导向手柄推动而摆动使得所述第二安装件升高的摆动件。

进一步的，所述第一导向件上设有导向限位件，所述第一纵向导向件上设有导向限位板。

本实用新型的有益效果是：