[实用新型]一种光刻机用上版夹具有效
| 申请号： | 201921322739.9 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN210954607U | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 张俊杰 | 申请（专利权）人： | 上海图双精密装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种光刻机用上版夹具。所述一种光刻机用上版夹具包括定位器和控制系统，定位器一侧与曝光平台间隙配合，所述曝光平台一侧通过螺钉与不锈钢支架固定连接，所述不锈钢支架内表面通过螺钉与抽气装置固定连接，所述不锈钢支架一侧通过螺钉与处理器固定连接，所述处理器一端通过螺钉与信号发射器固定连接。本实用新型提供的一种光刻机用上版夹具通过压强差形成一个压力作用于铬版，使得铬版与夹具连接强度增加，并且真空吸气槽是由橡胶制成，减缓了摩擦，并且通过设计抵顶块，半圆形的设计能够减少磨损，解决了现有的夹具对铬版夹紧使，容易对铬版造成损伤，从而降低了铬版的使用寿命，同时也影响光刻机后期的曝光的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 用上 夹具 | ||
【主权项】：
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