[实用新型]一种光刻机用上版夹具

说明书

本实用新型提供一种光刻机用上版夹具。所述一种光刻机用上版夹具包括定位器和控制系统，定位器一侧与曝光平台间隙配合，所述曝光平台一侧通过螺钉与不锈钢支架固定连接，所述不锈钢支架内表面通过螺钉与抽气装置固定连接，所述不锈钢支架一侧通过螺钉与处理器固定连接，所述处理器一端通过螺钉与信号发射器固定连接。本实用新型提供的一种光刻机用上版夹具通过压强差形成一个压力作用于铬版，使得铬版与夹具连接强度增加，并且真空吸气槽是由橡胶制成，减缓了摩擦，并且通过设计抵顶块，半圆形的设计能够减少磨损，解决了现有的夹具对铬版夹紧使，容易对铬版造成损伤，从而降低了铬版的使用寿命，同时也影响光刻机后期的曝光的问题。

技术领域

本实用新型涉及光刻机应用领域，尤其涉及一种光刻机用上版夹具。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历铬版表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，光刻机的操作步骤依次为上版、定位、移动平台、聚焦、找中心、曝光以及取版，而在对铬版进行上版使需要对铬版进行固定。

现有的夹具对铬版夹紧使，容易对铬版造成损伤，从而降低了铬版的使用寿命，同时也影响光刻机后期的曝光的问题，现有的上版夹具尺寸大多数使固定的，根据不同大小的铬版需要使用不同的夹具，耗时耗力的问题，现有的夹具由于不存在辅助对准的功能，从而导致浪费很多时间的问题。

因此，有必要提供一种光刻机用上版夹具解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种光刻机用上版夹具，解决了现有的夹具对铬版夹紧使，容易对铬版造成损伤，从而降低了铬版的使用寿命，同时也影响光刻机后期的曝光的问题，现有的上版夹具尺寸大多数使固定的，根据不同大小的铬版需要使用不同的夹具，耗时耗力的问题，现有的夹具由于不存在辅助对准的功能，从而导致浪费很多时间的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种光刻机用上版夹具，包括定位器和控制系统，所述定位器一侧与曝光平台间隙配合，所述定位器内表面与铬版间隙配合，所述铬版一侧与曝光平台间隙配合，所述曝光平台一侧通过螺钉与不锈钢支架固定连接，所述不锈钢支架内表面通过螺钉与抽气装置固定连接，所述不锈钢支架一侧通过螺钉与处理器固定连接，所述处理器一端通过螺钉与信号发射器固定连接，所述处理器另一端通过螺钉与信号接收器固定连接。

优选的，所述定位器还包括定位钉、定位孔A和抵顶块，所述定位器一侧设置有定位孔A，所述定位器内表面与抵顶块焊接，所述定位孔A内表面与定位钉间隙配合。

优选的，所述曝光平台还包括凹槽、固定板、真空吸气槽和抽气孔，所述固定板一侧设置有凹槽，所述凹槽内表面与真空吸气槽间隙配合，所述真空吸气槽内表面设置有抽气孔。

优选的，所述固定板还包括定位钉、抽气孔、定位孔B和管道A，所述固定板一侧设置有定位孔B，所述定位钉一端与定位孔B间隙配合，所述抽气孔内表面与管道A法兰连接。

优选的，所述不锈钢支架还包括管道A、空腔、光电传感器和抽气装置，所述不锈钢支架内表面设置有空腔，所述空腔内表面通过螺钉与光电传感器固定连接，所述管道A另一端与空腔法兰连接，所述抽气装置一端与空腔法兰连接。

优选的，所述抽气装置还包括微型真空泵、真空泵开关A、管道B、管道C、电磁阀门和阀门开关B，所述管道B一端与微型真空泵法兰连接，所述微型真空泵一端与管道C法兰连接，所述管道C一端与电磁阀门法兰连接，所述电磁阀门一端通过电线与阀门开关B电性连接，所述微型真空泵一侧通过电线与真空泵开关A电性连接。